[发明专利]一种工件台长条镜面形漂移补偿的方法有效
| 申请号： | 201410332073.0 | 申请日： | 2014-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN105278254B | 公开（公告）日： | 2018-01-19 |
| 发明（设计）人： | 蔡良斌 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 工件 长条 镜面形 漂移 补偿 方法 | ||
1.一种工件台长条镜面形漂移补偿的方法，其特征在于，包括：步骤一、校准参考温度和压力下的所述长条镜的面形误差；步骤二、测试不同温度和压力时所述长条镜的面形误差，根据不同温度和压力的所述长条镜面形误差拟合所述长条镜面形误差变化量随温度和压力变化的系数；步骤三、根据实测的温度和压力值以及面形误差变化量随温度和压力变化的系数实时计算面形误差补偿量；步骤四、根据所述面形误差补偿量实现面形漂移补偿。
2.如权利要求1所述的面形漂移补偿的方法，其特征在于，所述步骤一具体包括：利用所述工件台X方向和Y方向的温度和压力传感器测量所述工件台的温度和压力作为参考温度和压力，将所述长条镜面形误差作为一恒定的系统误差对所述参考温度和压力测量补偿校准。
3.如权利要求1所述的面形漂移补偿的方法，其特征在于，所述步骤二测试不同温度和压力时所述长条镜的面形误差包括：按照多个预设时间，利用所述工件台X方向和Y方向的温度和压力传感器测试不同时间的温度和压力下的所述长条镜的面形误差。
4.如权利要求1所述的面形漂移补偿的方法，其特征在于，所述步骤二中根据不同时间的温度和压力下的所述长条镜面形误差以及公式拟合出公式中的系数(ai,bi；ci,di)，其中p0、T0分别表示初始压力与温度，p、T分别表示不同时间测得的压力和温度，e为常数。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司，未经上海微电子装备（集团）股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201410332073.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
