[发明专利]一种低电阻ITO透明导电膜有效
申请号: | 201410331465.5 | 申请日: | 2014-07-11 |
公开(公告)号: | CN104064257B | 公开(公告)日: | 2017-05-03 |
发明(设计)人: | 于甄;胡坤 | 申请(专利权)人: | 张家港康得新光电材料有限公司 |
主分类号: | H01B5/14 | 分类号: | H01B5/14;H01B1/02 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司11240 | 代理人: | 吴贵明,张永明 |
地址: | 215634 江苏省苏州市张家港环保新材料*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 电阻 ito 透明 导电 | ||
1.一种低电阻ITO透明导电膜,其特征在于,所述ITO透明导电膜依次包括:柔性基材、第一过渡层、高折射率层、第二过渡层、金属层、及ITO透明导电层,所述高折射率层的折射率范围在2.0至2.4之间,所述第一过渡层为过渡金属层或过渡金属氧化物层,用于增加高折射率层与柔性基材的结合力,所述第二过渡层为过渡金属层或过渡金属氧化物层,用于增加高折射率层与金属层之间的结合力;所述高折射率层的厚度与所述ITO透明导电层的厚度均为半个光学厚度。
2.根据权利要求1所述的低电阻ITO透明导电膜,其特征在于,所述第一过渡层的厚度为1~5nm,第一过渡层的材料为Ti或Ta或Cr或Ru金属层或者AZO金属氧化物层。
3.根据权利要求1所述的低电阻ITO透明导电膜,其特征在于,所述第二过渡层的厚度为1~5nm,第二过渡层的材料为Ti或Ta或Cr或Ru金属层或者AZO金属氧化物层。
4.根据权利要求1所述的低电阻ITO透明导电膜,其特征在于,所述金属层的厚度为1~10nm,金属层的材料为Ag或Au。
5.根据权利要求1所述的低电阻ITO透明导电膜,其特征在于,所述高折射率层的厚度为半个光学厚度,高折射率层为NbOx或Si3N4或TiO2或LaTiO3介质层。
6.根据权利要求1所述的低电阻ITO透明导电膜,其特征在于,所述柔性基材另一侧还包括保护层,所述保护层为光学双面胶。
7.根据权利要求6所述的低电阻ITO透明导电膜,其特征在于,所述保护层的厚度为10~100μm。
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