[发明专利]一种石墨烯转移方法

权利要求书

1.一种石墨烯转移方法，其特征是，将滴定管固定在铁架台上，将金属箔长有石墨烯的一面向下置于目标衬底表面，将衬底放于滴定管的下方，将金属箔压平；将滴定管中的FeCl₃溶液滴于金属箔上方，通过控制滴定管的开关控制流出的FeCl₃溶液量，使得石墨烯与衬底之间没有FeCl₃溶液进入。

2.如权利要求1所述的石墨烯转移方法，其特征是，所述金属箔为铜箔或镍箔。

3.如权利要求1所述的石墨烯转移方法，其特征是，所用衬底为固态衬底。

4.如权利要求1所述的石墨烯转移方法，其特征是，所用衬底为硅片。

5.一种石墨烯转移方法，其特征是，将滴定管固定在铁架台上，将金属箔长有石墨烯的一面向下置于目标衬底表面，将衬底放于滴定管的下方，将金属箔压平；将滴定管中的稀HCl与H₂O₂混合液腐蚀溶液滴于金属箔上方，通过控制滴定管的开关控制流出的腐蚀溶液量，使得石墨烯与衬底之间没有腐蚀溶液进入。

6.一种石墨烯转移方法，其特征是，包括如下步骤：

1)在金属箔上采用CVD法制备石墨烯；

2)将金属箔生长有石墨烯的一面向下置于目标衬底表面，将金属箔压平；

3)将带有金属箔的衬底置于滴定系统的下方，通过滴定管使得FeCl₃溶液流到金属箔上，同时通过滴定管下方的小塞子控制石墨烯上方的FeCl₃溶液的量；保证滴管中的溶液与金属箔上的溶液在腐蚀过程中始终连通；

4)将样品静置，直到FeCl₃溶液将其所在区域金属箔腐蚀完全，最终石墨烯会在FeCl₃溶液重力和范德瓦尔斯力的共同作用下与目标衬底粘附；

5)用稀盐酸溶液浸泡后，用去离子水反复对上述衬底进行冲洗，去除残留的Fe³⁺离子；之后将清洗干净的衬底取出，并用气枪将之吹干。

7.如权利要求6所述的石墨烯转移方法，其特征是，步骤3)中，FeCl₃溶液的浓度为0.01g/ml-1g/ml。

8.如权利要求6所述的石墨烯转移方法，其特征是，步骤3)中，FeCl₃溶液的浓度为0.1g/ml。

9.如权利要求6所述的石墨烯转移方法，其特征是，步骤4)中，在将样品静置期间，对样品加热以加快反应速度，加热温度为70℃。

10.如权利要求6所述的石墨烯转移方法，其特征是，步骤5)中，稀盐酸溶液的浓度为0.01mol/L-2mol/L。