[发明专利]一种大数值孔径浸没式投影物镜

权利要求书

1.一种大数值孔径浸没式投影物镜，其特征在于，以物平面输入光束传播方向为系统光轴，在系统光轴上依次放置透射组G1、透射组G2、透射组G3、反射组和透射组G4、透射组G5、透射组G6，其中透射组G1焦距为正，透射组G2焦距为正，透射组G3焦距为正，反射组焦距为负，透射组G4焦距为负，透射组G5焦距为正，透射组G6焦距为正；

透镜组G1的焦距和系统总焦距的比值范围区间为[-0.009，-0.008]，透镜组G2的焦距和系统总焦距的比值范围区间为[-0.01，-0.009]，透镜组G3的焦距和系统总焦距的比值范围区间为[-0.08，-0.05]，反射组的焦距和系统总焦距的比值范围区间为[0.006，0.009]，透镜组G4的焦距和系统总焦距的比值范围区间为[0.01，0.02]，透镜组G5的焦距和系统总焦距的比值范围区间为[-0.02，-0.01]，透镜组G6的焦距和系统总焦距的比值范围区间为[-0.01，-0.008]；

透射组G1包括第一正透镜(1)、第二正透镜(2)、第三正透镜(3)、第四正透镜(4)、第一负透镜(5)；

透射组G2包括第二负透镜(6)、第五正透镜(7)、第六正透镜(8)、第三负透镜(9)、第七正透镜(10)；

透射组G3包括第八正透镜(11)、第四负透镜(12)、第九正透镜(13)；

反射组包括第一反射镜(14)、第二反射镜(15)，其中第一反射镜(14)焦距为负，第二反射镜焦距(15)为正，第一反射镜(14)的焦距和反射组的焦距比值范围区间为[0.5,0.8]，第二反射镜(15)的焦距和反射组的焦距比值范围区间为[-0.6，-0.4]；

透射组G4包括第十正透镜(16)、第五负透镜(17)；

透射组G5包括第六负透镜(18)、第十一正透镜(19)、第十二正透镜(20)、第十三正透镜(21)、第十四正透镜(22)、第十五正透镜(23)；

透射组G6包括第十六正透镜(24)、第十七正透镜(25)、第十八正透镜(26)。

2.根据权利要求1所述的大数值孔径浸没式投影物镜，其特征在于：所述的大数值孔径浸没式投影物镜中的第一反射镜(14)、第二反射镜(15)均为阶数为20次的高次非球面，其中第一反射镜(14)的通光口径为317mm，第二反射镜(15)的通光口径为240mm。

3.根据权利要求1所述的大数值孔径浸没式投影物镜，其特征在于：所述的大数值孔径浸没式投影物镜的透射组中共使用了20个非球面，第二正透镜(2)、第三正透镜(3)、第四正透镜(4)、第一负透镜(5)、第二负透镜(6)、第五正透镜(7)、第六正透镜(8)、第三负透镜(9)、第七正透镜(10)、第八正透镜(11)、第四负透镜(12)、第九正透镜(13)、第十正透镜(16)、第五负透镜(17)、第六负透镜(18)、第十一正透镜(19)、第十二正透镜(20)、第十三正透镜(21)、第十六正透镜(24)、第十七正透镜(25)中都使用了非球面。

4.根据权利要求1所述的大数值孔径浸没式投影物镜，其特征在于：所述的大数值孔径浸没式投影物镜的孔径光阑设置在第十五正透镜(23)和第十六正透镜(24)之间。

5.根据权利要求1所述的大数值孔径浸没式投影物镜，其特征在于：所述的大数值孔径浸没式投影物镜中透射镜的材料都是熔石英。

6.根据权利要求1所述的大数值孔径浸没式投影物镜，其特征在于：所述的大数值孔径浸没式投影物镜的一次像面位于反射组内部。

7.根据权利要求1所述的大数值孔径浸没式投影物镜，其特征在于：所述大数值孔径浸没式投影物镜的像方处使用的浸没液为水。