[发明专利]压电材料、压电元件和电子设备有效
| 申请号: | 201410328614.2 | 申请日: | 2014-07-11 |
| 公开(公告)号: | CN104276821A | 公开(公告)日: | 2015-01-14 |
| 发明(设计)人: | 田中秀典;渡边隆之;村上俊介;古田达雄;薮田久人 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
| 主分类号: | C04B35/49 | 分类号: | C04B35/49;H01L41/187 |
| 代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 罗银燕 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 压电 材料 元件 电子设备 | ||
1.一种压电材料,包括:
主组分,包含能够由以下一般式(1)表达的钙钛矿型的金属氧化物;
第一副组分,包含Mn;
第二副组分,包含Li;以及
第三副组分,包含Bi,
其中,Mn的含量在所述金属氧化物为100重量份时按金属换算不小于0.04重量份并且不大于0.36重量份,Li的含量α在所述金属氧化物为100重量份时按金属换算等于或小于0.0012重量份且包括0重量份,并且Bi的含量β在所述金属氧化物为100重量份时按金属换算不小于0.042重量份并且不大于0.850重量份,
(Ba1-xCax)a(Ti1-y-zZrySnz)O3 (1)
在式(1)中,0.09≤x≤0.30,0.025≤y≤0.085,0≤z≤0.02并且0.986≤a≤1.02。
2.根据权利要求1所述的压电材料,其中,对于一般式(1)中的“y”,满足关系0.055≤y≤0.085。
3.根据权利要求1或2所述的压电材料,其中,所述压电材料包括含Mg的第四副组分,并且当能够利用所述一般式(1)表达的钙钛矿型的金属氧化物为100重量份时,所述第四副组分的含量按金属换算等于或小于0.10重量份且不包括0重量份。
4.根据权利要求1或2所述的压电材料,其中,所述压电材料包括含Si和B中的至少一种的第五副组分,并且当能够利用所述一般式(1)表达的钙钛矿型的金属氧化物为100重量份时,所述第五副组分的含量按金属换算不小于0.001重量份并且不大于4.000重量份。
5.根据权利要求1或2所述的压电材料,其中,在所述一般式(1)中,满足关系y+z≤(11x/14)-0.037。
6.根据权利要求1或2所述的压电材料,其中,在所述一般式(1)中,满足关系x≤0.17。
7.根据权利要求1或2所述的压电材料,其中,所述压电材料的居里温度等于或大于100℃。
8.根据权利要求1或2所述的压电材料,其中,所述压电材料在1kHz频率处的介电正切等于或小于0.006。
9.一种压电元件,包括第一电极、压电材料部和第二电极,其中构成所述压电材料部的压电材料是根据权利要求1所述的压电材料。
10.一种多层压电元件,包括交替地多层层叠的多个压电材料层和多个电极层,所述多个电极层包括至少一个内部电极,其中所述压电材料层由根据权利要求1所述的压电材料制成。
11.根据权利要求10所述的多层压电元件,其中,所述内部电极包含Ag和Pd,并且关于重量比率M1/M2,满足关系0.25≤M1/M2≤4.0,其中M1表示Ag的含量并且M2表示Pd的含量。
12.根据权利要求10所述的多层压电元件,其中,所述内部电极包含Ni和Cu中的至少一种。
13.一种液体排出头,包括:
配备有振动单元的液体腔室,在所述振动单元中设置有根据权利要求9所述的压电元件或者根据权利要求10所述的多层压电元件,以及
与所述液体腔室连通的排出口。
14.一种液体排出装置,包括:
其上放置图像转印介质的部分,以及
根据权利要求13所述的液体排出头。
15.一种超声马达,包括:
振动体,在所述振动体中设置有根据权利要求9所述的压电元件或者根据权利要求10所述的多层压电元件,以及
与所述振动体接触的移动体。
16.一种光学设备,包括:
驱动单元,所述驱动单元包括根据权利要求15所述的超声马达。
17.一种振动装置,包括:
振动体,在所述振动体中根据权利要求9所述的压电元件或者根据权利要求10所述的多层压电元件被设置在振动板上。
18.一种尘埃去除装置,包括:
振动单元,在所述振动单元中设有根据权利要求17所述的振动装置。
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