[发明专利]带电粒子束系统及操作带电粒子束系统的方法

权利要求书

1.一种带电粒子束系统，包括：

惰性气体场离子束源；

带电粒子束柱；

限定第一真空区域、第二真空区域和第三真空区域的壳体；

第一压力限制孔，布置在所述第一真空区域与所述第二真空区域之间；

第二压力限制孔，布置在所述第二真空区域与所述第三真空区域之间，

其中，所述惰性气体场离子束源布置在所述第一真空区域内；

第一机械真空泵，功能上附接至所述第一真空区域；

离子吸气泵，附接至所述第二真空区域，其中所述第二真空区域布置在所述带电粒子束柱内，其中所述离子吸气泵为附接至所述第二真空区域的唯一泵；以及

气体供应器，附接至所述第一真空区域，构造成将惰性气体供应至所述惰性气体场离子束源。

2.如权利要求1所述的带电粒子束系统，还包括样品室，其中，所述带电粒子束柱定位在所述第一真空区域和邻近所述第一真空区域的样品室之间。

3.如权利要求1或2所述的带电粒子束系统，还包括控制器，其构造成在所述惰性气体场离子束源产生离子束的时候关闭所述离子吸气泵。

4.如权利要求3所述的带电粒子束系统，其中，所述控制器还构造成仅当所述第一真空区域内的压力低于预定压力值时启动所述离子吸气泵。

5.如权利要求1或2所述的带电粒子束系统，还包括加热器和控制器，该控制器构造成加热所述加热器以从所述离子吸气泵释放所述惰性气体的原子。

6.如权利要求1或2所述的带电粒子束系统，还包括：法兰，所述离子吸气泵经由所述法兰附接至所述带电粒子束系统；以及阀，所述阀布置在所述离子吸气泵和所述带电粒子束柱之间的所述法兰内。

7.如权利要求1或2所述的带电粒子束系统，还包括：

样品室；

具有高质量的桌台，所述样品室定位在所述桌台上；

第一振动隔离系统，位于所述桌台和其上定位了桌台的地板之间；

第二振动隔离系统，布置在所述桌台和所述样品室之间，

其中，所述第一机械真空泵布置在所述桌台处，以及

其中，所述第一机械真空泵经由至少一个柔性波纹管连接到所述第一真空区域。

8.如权利要求7所述的带电粒子束系统，其中，所述至少一个柔性波纹管包括第一柔性波纹管部分、第二柔性波纹管部分以及位于所述第一柔性波纹管部分和所述第二波纹管部分之间的硬管。

9.如权利要求7所述的带电粒子束系统，其中，所述桌台包括石板或混凝土板。

10.如权利要求1或2所述的带电粒子束系统，还包括：

样品室和可移动地布置在所述样品室内的样品台；

布置在所述惰性气体场离子源和所述样品台之间的离子光学系统和孔径板，

其中，所述壳体直接安装到所述样品室的管状部分，

其中，所述管状部分形成所述样品室的一体且不可拆卸部分，以及其中，所述离子光学系统和孔径板安装在所述管状部分内。

11.如权利要求1或2所述的带电粒子束系统，其中，所述壳体是第一壳体，所述带电粒子束系统还包括：

导电尖端，具有布置在所述第一壳体中的尖端顶点，

所述第一壳体具有可倾斜安装件的第一部分，

第二壳体，包括限定光轴的带电粒子光学组件，其中，所述第二壳体包括可倾斜安装件的第二部分，所述可倾斜安装件的第二部分构造成对应于所述可倾斜安装件的第一部分，使得所述第一壳体能够相对于所述第二壳体倾斜，

其中，所述可倾斜安装件的第一和第二部分构造成形成空气轴承；

电机驱动器，构造成对所述第一壳体施加相对于所述第二壳体的倾斜运动；以及

控制器，构造成控制所述电机驱动器和所述空气轴承的空气供应。