[发明专利]一种基于激光干涉法的低温流体可视化监测装置

权利要求书

1.一种基于激光干涉法的低温流体可视化监测装置，包括真空箱以及布置在真空箱内用于通过低温流体的测试管，其特征在于，所述测试管具有两个用于观察测试管内部低温流体的内光窗玻璃，两个内光窗玻璃关于测试管轴线对称布置，所述真空箱与两个内光窗玻璃对应位置处分别设有一观察口，各观察口上均安装有外光窗玻璃，所述装置还包括设置在真空箱外侧的光学测量系统，所述光学测量系统包括：

激光发射器，用于发射激光；

扩束镜，用于将来自激光发射器的激光变为扩束光；

准直透镜，用于将扩束镜出来的扩束光变为平行光；

分光镜，用于将所述平行光分为第一光线和第二光线；

第一反射镜；用于接收第一光线，形成第一反射光线；

第二反射镜；与分光镜分处在真空箱两侧，用于接收贯穿各内、外光窗玻璃后的第二光线，形成第二反射光线，该第二反射光线与所述第一反射光线在分光镜处形成干涉光；

幕布，用于接收所述干涉光；

摄像机，用于拍摄所述干涉光在幕布上的成像。

2.如权利要求1所述的基于激光干涉法的低温流体可视化监测装置，其特征在于，所述激光发射器为氦氖激光器。

3.如权利要求1所述的基于激光干涉法的低温流体可视化监测装置，其特征在于，所述摄像机为CCD高速摄像仪。

4.如权利要求1所述的基于激光干涉法的低温流体可视化监测装置，其特征在于，所述真空箱包括真空罩以及与真空罩固定的密封盘，所述测试管包括相互连通的集液段和测试段，且集液段一端穿出所述密封盘，所述内光窗玻璃设置在测试段上，所述测试段上远离集液整流段的一端具有分别穿出所述密封盘的回液管和出气管。

5.如权利要求4所述的基于激光干涉法的低温流体可视化监测装置，其特征在于，所述集液段包括：

进液管，固定在密封盘上，一端为进液口，另一端伸入真空罩；

流量计，设置在真空罩内，与所述进液管连接；

扩流管，一端与流量计连通，另一端与测试段连通。

6.如权利要求5所述的基于激光干涉法的低温流体可视化监测装置，其特征在于，所述扩流管内填有导流丝网。

7.如权利要求5所述的基于激光干涉法的低温流体可视化监测装置，其特征在于，所述测试段包括通过法兰与扩流管连接的管体，所述内光窗玻璃设置在管体上，所述管体上设有温度传感器。

8.如权利要求7所述的基于激光干涉法的低温流体可视化监测装置，其特征在于，所述出气管与管体连通，管体远离扩流管的一端具有整流管，整流管与所述回液管连通。

9.如权利要求8所述的基于激光干涉法的低温流体可视化监测装置，其特征在于，所述整流管固定有环氧导向套，所述真空罩的内壁具有与所述环氧导向套配合的导向孔。

10.如权利要求7所述的基于激光干涉法的低温流体可视化监测装置，其特征在于，所述内光窗玻璃靠近低温流体的一侧与所述管体的内表面平齐。