[发明专利]一种机械手

说明书

技术领域

本发明涉及液晶产品生产技术领域，尤其涉及一种用于搬运玻璃基板的机械手。

背景技术

光刻工艺是TFT基板生产过程中必要步骤，整个工段流水线作业，自动化程度相当高，最普遍的搬送玻璃基板代替人工作业的是程序控制的机械手。光刻胶是此工艺中必须使用的原材料，其物理性质具有较高的粘性和受热挥发性；Bake(烘箱)是用于加热烘烤涂胶后的玻璃基板，提高光刻胶与玻璃基板的粘附，使之在刻蚀工序不被侵蚀；但这带来了相当大的问题，当Bake的shuttle(烘箱挡块)打开时，高温烘烤下光刻胶挥发释放出来，弥散在空气中，外界环境温度急剧下降，粘附在机械手臂上，造成机械手在取放基板时，基板与机械手臂紧密粘附，分离不彻底会把基板带出，导致基板偏移或破片。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明提供一种机械手，使基板与机械彻底分离，防止基板偏移或破片。

为了达到上述目的，本发明采用的技术方案是：一种机械手，包括具有承载玻璃基板的承载面的机械手臂，所述承载面上设有通孔，所述机械手臂内部设有与所述通孔相连通的第一通道，所述机械手臂还设有与所述第一通道连通的执行装置，以及用于控制所述执行装置在第一工作状态和第二工作状态之间变化的控制装置；

所述第一工作状态为，所述执行装置抽真空以吸附玻璃基板；

所述第二工作状态为，所述执行装置在所述第一通道内形成朝向所述通孔的气流，并使得该气流从所述通孔中溢出以在所述玻璃基板和承载面之间形成空气层。

进一步的，所述执行装置包括：

通过第二通道与所述第一通道连通的抽真空结构，所述第一通道和所述第二通道之间设有第一阀门；

通过第三通道与所述第一通道连通的吹气结构，所述第一通道和所述第三通道之间设有第二阀门；

所述第一工作状态时，在所述控制装置的控制下，所述第一阀门打开以使得所述第一通道与所述第二通道连通，同时关闭所述第二阀门以使得所述第一通道与所述第三通道关闭；

所述第二工作状态时，在所述控制装置的控制下，所述第一阀门关闭以使得所述第一通道和所述第二通道关闭，同时打开所述第二阀门以使得所述第一通道与所述第三通道打开。

进一步的，所述第一阀门和所述第二阀门集成为一体构成设置于所述第一通道、第二通道、第三通道相交处的三通阀。

进一步的，所述三通阀为三通电磁阀。

进一步的，所述通孔处设有真空垫。

本发明有益效果是：在机械手放置玻璃基板时，机械手臂与玻璃基板的完全分离，防止基板偏移或破片。

附图说明

图1表示本发明机械手结构示意图；

图2表示本发明机械手内部结构示意图；

图3表示本发明机械手吸附玻璃基板状态示意图；

图4表示本发明机械手待放置玻璃基板状态示意图。

具体实施方式

以下结合附图对本发明特征和原理进行详细描述，所举实施例仅用于解释本发明，并非以此限定本发明保护范围。

如图1-图4所示，本实施例提供一种机械手，包括具有承载玻璃基板10的承载面1的机械手臂，所述承载面1上设有通孔，所述机械手臂内部设有与所述通孔相连通的第一通道4，所述机械手臂还设有与所述第一通道4连通的执行装置，以及用于控制所述执行装置在第一工作状态和第二工作状态之间变化的控制装置；

所述第一工作状态为，所述执行装置抽真空以吸附玻璃基板10；

所述第二工作状态为，所述执行装置在所述第一通道4内形成朝向所述通孔的气流，并使得该气流从所述通孔中溢出以在所述玻璃基板10和承载面1之间形成空气层。

通过抽真空以吸附玻璃基板10，通过在所述第一通道4内形成朝向所述通孔的气流，并使得该气流从所述通孔中溢出以在所述玻璃基板10和承载面1之间形成空气层，使得所述承载面1与玻璃基板10完全分离，防止由于机械手臂与玻璃基板10之间粘附而在放置玻璃基板10时，玻璃基板10被带出而导致位置偏移。

所述执行装置的结构形式可以有多种，只要实现抽真空以吸附玻璃基板10以及在放置玻璃基板10时防止玻璃基板10位置偏移即可。

本实施例中，所述执行装置包括：

通过第二通道5与所述第一通道4连通的抽真空结构，所述第一通道4和所述第二通道5之间设有第一阀门；

通过第三通道6与所述第一通道4连通的吹气结构，所述第一通道4和所述第三通道6之间设有第二阀门；