[发明专利]用于磁传感器装置或磁致动器的微技术构件及其制造方法

说明书

本发明涉及一种用于磁传感器装置或磁致动器的微技术构件，所述微技术构件具有：至少一个沿着轴线(10)定向的磁芯(12)；至少一个第一驱动线圈(14)，其具有在绕所述至少一个磁芯(12)的第一旋转方向上延伸的绕阻；和至少一个触点(18a，18b)，通过所述触点能够借助于所述驱动器装置(20)引起在穿过所述至少一个第一驱动线圈(14)的第一电流方向上的第一电流，其中，所述微技术构件还包括：至少一个第二驱动线圈(16)，其具有在绕所述至少一个磁芯(12)的第二旋转方向上延伸的绕阻，其中，所述第一旋转方向和所述第二旋转方向是不同的，并且其中，通过所述至少一个触点(18a，18b)能够与所述第一电流同时引起在穿过所述至少一个第二驱动线圈(16)的与所述第一电流方向相反指向的第二电流方向上的第二电流。同样地，本发明涉及一种用于微技术构件的制造方法。

技术领域

本发明涉及一种用于磁传感器装置或磁致动器的微技术构件。同样地，本发明涉及一种磁传感器装置和一种磁致动器。此外，本发明涉及一种用于磁传感器装置或磁致动器的微技术构件的制造方法、一种用于磁传感器装置的制造方法和一种用于磁致动器的制造方法。

背景技术

公开一种磁场传感器FlipCore，该磁场传感器FlipCore例如能够用于数字罗盘。FlipCore是磁通门磁力仪(或弗尔斯特探测器)并且具有驱动线圈和探测器线圈，所述驱动线圈和所述探测器线圈绕磁芯引导。通过给驱动线圈通电能够在磁芯中引起磁场。由于在磁芯中引起的磁场与另外的磁场(例如地磁场)的叠加能够出现磁芯的自发的交变磁化。借助于在探测器线圈中感应出的电压应该能够探测磁芯的自发的交变磁化。接着应该能够通过评估磁芯的自发的交变磁化的时间点来确定另外的磁场的磁场强度。

此外，在DE102008042800A1中描述一种用于测量磁场方向和/或强度的装置，该装置包括三个传感器装置，所述传感器装置分别被设计用于检测磁场在空间方向上的分量。传感器装置中的两个是磁通门磁力仪。

本发明实现一种具有根据权利要求1的特征的用于磁传感器装置或磁致动器的微技术构件、一种具有根据权利要求8的特征的磁传感器装置、一种具有根据权利要求9的特征的磁致动器、一种具有根据权利要求10的特征的用于磁传感器装置或磁致动器的微技术构件的制造方法、一种具有根据权利要求14的特征的用于磁传感器装置的制造方法和一种具有根据权利要求15的特征的用于磁致动器的制造方法。

发明中容

本发明能够在电压相同的情况下实现在至少一个磁芯中引起的磁场的较高的磁场强度。因此，微技术构件在磁传感器装置中的应用能够在驱动线圈的运行电压相同的情况下实现相对于(只具有单线圈的)传统的弗尔斯特探测器较高的测量范围。相应地，装备有微技术构件的磁致动器也能够在驱动线圈的运行电压相同的情况下施加较强的作用。由此，本发明为磁传感器装置和磁致动器的重要改进作贡献。

指出了，本发明能够实现改进磁传感器装置和磁致动器，而不需要减少至少一个第一驱动线圈的印制导线电阻。换言之，能够通过至少一个第一驱动线圈和至少一个第二驱动线圈在至少一个磁芯上根据本发明地构造/构型总电阻(磁传感器装置或磁致动器的驱动器装置克服所述总电阻工作)相对于具有与至少一个第一驱动线圈和至少一个第二驱动线圈的匝数总和相同的匝数的唯一一个驱动线圈有效减小。因为所述优点能够在没有减少印制导线电阻的情况下实现，能够使用成本低廉并且简单加工的材料用于构成至少一个第一驱动线圈和至少一个第二驱动线圈。由此，本发明也为用于磁传感器装置或用于磁致动器的微技术构件的较简单的可制造性作贡献。此外，本发明允许磁传感器装置或磁致动器装备有相对成本低廉的微技术构件。

此外，通过在运行电压相同的情况下增大的测量范围或通过在运行电压相同的情况下磁致动器的改进的作用，磁传感器装置或磁致动器装备有相对成本低廉和/或需要结构空间小的驱动器装置已经足够。