[发明专利]一种光学玻璃亚表面缺陷检测方法有效
| 申请号： | 201410312808.3 | 申请日： | 2014-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN104089963B | 公开（公告）日： | 2016-11-02 |
| 发明（设计）人： | 张春雷;马占龙;王绍治;刘健;隋永新;杨怀江 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01N21/958 | 分类号： | G01N21/958 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 张伟 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光学玻璃 表面 缺陷 检测 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种光学玻璃亚表面缺陷检测方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤i：采用沥青或者聚氨酯抛光方式制备亚表面缺陷玻璃样品；
步骤ii：合理确定样品采样点，以全面评价样品亚表面缺陷；
步骤iii：根据采样点制作去除区域为规则形状的去除函数，与驻留时间卷积获得规则形状的若干采样区域；
步骤iv：利用上述去除函数和离子束加工对采样区域进行不同深度均匀去除；
步骤v：使用表面形貌观察设备对采样区域进行观测，获得光学玻璃亚表面缺陷形貌。
2.根据权利要求1所述的光学玻璃亚表面缺陷检测方法，其特征在于，所述表面形貌观察设备为白光干涉仪或原子力显微镜。
3.根据权利要求1或2所述的光学玻璃亚表面缺陷检测方法，其特征在于，步骤iv之后，步骤v之前，还设有步骤：若水解层未完全去除，对采样区域进行再次去除。
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