[发明专利]超高真空试验腔中光路精密调节及转换装置

权利要求书

1.超高真空试验腔中光路精密调节及转换装置，其特征是，第一深沟球轴承(409)安装到转动轴(429)上，第二深沟球轴承(431)安装到轴承座(408)上并将其组装成一配合体，深沟球轴承端面垫圈(410)安装在第一深沟球轴承(409)的下端，通过螺母锁紧；点支座(426)、槽支座(413)和面支座(419)与转轴连接板(416)连接固定，转轴连接板(416)安装到转动轴(429)上；

精调球头螺杆(421)旋入弹性精调螺套(427)成一体，且安装到镜座支板(430)上，微调锁紧螺母(428)安装到弹性精调螺套(427)上，通过微调锁紧螺母(428)调节弹性精调螺套(427)与精调球头螺杆(421)配合间隙；反射镜(412)装入反射镜座(401)内，用反射镜压紧圈(415)固定后并与镜座支板(430)连接成组合体，同时将该组合体通过镜座支座(430)及精调螺杆固紧螺钉(418)安装在转轴连接板(416)上，将所述组合体通过轴承座(408)与轴承座支板(422)连接用螺钉固紧；

两个拉簧挂钉(402)分别设置在拉簧挂钉长支杆(403)和拉簧挂钉短支杆(404)上，拉簧挂钉长支杆(403)与轴承座支板(422)连接，拉簧挂钉短支杆(404)与转轴连接板(416)连接紧固；螺钉锁紧螺母(405)和定位螺钉(406)组装后与定位螺钉支杆(407)配合成两套后分别连接安装在轴承座支板(422)，另一套先与定位螺钉支杆连接板(414)连接再与底板(420)连接固定；

定位拉簧(417)两端分别安装到两个拉簧挂钉(402)上；转换驱动组件(411)密封连接在底板(420)上；并通过转换驱动组件轴固紧螺钉(424)将其与精密调节及转换装置(4)中轴系连接紧固。