[发明专利]液晶显示器的连接垫结构及其制作方法在审
申请号: | 201410310276.X | 申请日: | 2014-07-01 |
公开(公告)号: | CN104062786A | 公开(公告)日: | 2014-09-24 |
发明(设计)人: | 杜鹏 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13;G02F1/1333 |
代理公司: | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人: | 孙伟峰;杨林 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 液晶显示器 连接 结构 及其 制作方法 | ||
技术领域
本发明涉及液晶显示技术领域,更具体地讲,涉及一种液晶显示器的连接垫结构及其制作方法。
背景技术
随着液晶显示器(LCD)的尺寸的增大,液晶显示器中的各种信号线的阻容延迟(RC Delay)变的愈加严重,导致像素充电变差,从而影响液晶显示器的显示品质。
为了降低信号线之间的寄生电容,减小阻容延迟,现有的解决方案是在阵列(Array)基板的第二层金属(即制作源极、漏极的金属)制作完成之后,增加一层厚度很大的平坦层(Overcoat Layer)。该平坦层可以增加第二层金属和像素电极、公共电极之间的距离,从而起到减小寄生电容的作用。
此外,为了节省制作成本,平坦层的制作通常与防护层(Passivation Layer)同时完成,并且在阵列基板的边缘区域制作一较大的开口区来使连接垫结构露出。然而,由于制作完成的平坦层厚度(通常为1.5um~3.0um)较大,所以在连接垫结构与平坦层上制作导电层时,极易使导电层断裂。
此外,连接垫结构通过异向性导电膜(Anisotropic conductive film,ACF)与例如软性电路板(Chip on Film,COF)电连结,导电粒子分散在ACF中。当ACF受到挤压后,导电粒子会向连接垫结构周围移动,其中一部分导电粒子会到达平坦层的底端,由于平坦层厚度较大,因此这部分导电粒子很难越过平坦层,从而在平坦层的底端处聚集起来,进而引起不同信号线(例如扫描线、数据线)之间短路。
发明内容
为了解决上述现有技术存在的问题,本发明的目的在于提供一种液晶显示器的连接垫结构的制作方法,其至少包括步骤:A)在基板边缘区域的部分上表面形成多个连接垫;C)在该基板边缘区域的部分上表面形成平坦层,并覆盖所述连接垫;D)利用透光率渐变的掩膜图案化所述平坦层,将形成在所述连接垫的部分上表面的平坦层去除的同时,将形成在所述连接垫的另一部分上表面的平坦层的一侧面形成斜面。
进一步地,在执行步骤C)之前,所述制作方法还包括步骤:B)在该基板边缘区域的部分上表面形成绝缘层,并覆盖所述连接垫。
进一步地,所述步骤D)替换为:E)利用透光率渐变的掩膜图案化所述平坦层和绝缘层,将形成在所述连接垫的部分上表面的平坦层和绝缘层去除的同时,将形成在所述连接垫的另一部分上表面的平坦层的一侧面形成斜面。
进一步地,所述步骤D)替换为:E)利用透光率渐变的掩膜图案化所述平坦层和绝缘层,将形成在所述连接垫的部分上表面的平坦层和绝缘层的部分去除的同时,将形成在所述连接垫的另一部分上表面的平坦层的一侧面形成斜面。
进一步地,所述制作方法还包括:在该基板边缘区域的部分上表面形成导电层,其中,所述导电层覆盖所述连接垫的部分上表面、所述平坦层的斜面及其顶面。
进一步地,所述制作方法还包括:在该基板边缘区域的部分上表面形成导电层,其中,所述导电层覆盖所述连接垫的未被所述绝缘层的其余部分覆盖的部分上表面、所述绝缘层的其余部分上表面、所述平坦层的斜面及其顶面。
本发明的另一目的还在于提供一种液晶显示器的连接垫结构,其至少包括:多个连接垫,形成在基板边缘区域的部分上表面;平坦层,其一侧面为斜面,并位于所述连接垫的另一部分上表面,其中,所述斜面是在利用透光率渐变的掩膜图案化覆盖所述连接垫的平坦层,将形成在所述连接垫的部分上表面的平坦层去除的同时形成。
进一步地,所述连接垫结构还包括:绝缘层,位于所述连接垫的另一部分上表面与所述平坦层之间。
进一步地,所述连接垫结构还包括:绝缘层,其中,所述绝缘层的部分位于所述连接垫的另一部分上表面与所述平坦层之间,所述绝缘层的其余部分位于所述连接垫的部分上表面。
进一步地,所述连接垫结构还包括:导电层,覆盖所述连接垫的部分上表面、所述平坦层的斜面及其顶面。
进一步地,所述连接垫结构还包括:导电层,其覆盖所述连接垫的未被所述绝缘层的其余部分覆盖的部分上表面、所述绝缘层的其余部分上表面、所述平坦层的斜面及其顶面。
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