[发明专利]一种基于平面光栅的硅片台大行程运动测量系统无效
| 申请号： | 201410306846.8 | 申请日： | 2014-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN104061864A | 公开（公告）日： | 2014-09-24 |
| 发明（设计）人： | 朱煜;张鸣;刘峰;成荣;杨开明;支凡;张利;赵彦坡;胡清平;田丽;徐登峰;尹文生;穆海华;张金;陈安林 | 申请（专利权）人： | 清华大学;北京华卓精科科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/04 | 分类号： | G01B11/04 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 邸更岩 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区1*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 平面 光栅 硅片 行程 运动 测量 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于平面光栅的硅片台运动测量系统，含有硅片台定台(1)、硅片台动台(4)、平面光栅(3)和读数头(2)，其特征在于：所述的平面光栅(3)安装在硅片台动台(4)底面，测量面朝向硅片台定台(1)；所述的读数头(2)采用多个，多个读数头(2)成二维阵列布置在硅片台定台(1)上，并分布安装在硅片台动台(4)的运动区域内，且靠近硅片台定台(1)的上表面，读数头(2)与平面光栅(3)之间保留间隙；每个读数头(2)同时测量硅片台动台(4)两个方向上的位移，即x方向和z方向或者y方向和z方向；二维阵列的每行中的测量x方向和z方向的读数头与测量y方向和z方向的读数头间隔布置，相邻两行的读数头之间对齐布置或者错列布置；当所述的硅片台动台(4)进行平面运动时，任意时刻下平面光栅(3)覆盖至少三个读数头(2)。
2.如权利要求1所述的一种基于平面光栅的硅片台运动测量系统，其特征在于：所述的平面光栅(3)采用一块，或者采用多块二维平面光栅拼接而成。
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