[发明专利]衬底分离检查方法、衬底分离设备及柔性显示器制造方法

说明书

本发明提供了衬底分离检查方法、衬底分离设备以及柔性显示器制造方法。根据本发明的另一方面提供的衬底分离设备包括衬底组件、激光照射单元、检测单元、以及确定单元，其中衬底组件具有第一衬底以及附接至第一衬底的第二衬底，激光照射单元将激光照射至衬底组件，检测单元获得第一衬底和/或第二衬底的光学特性信息，确定单元基于通过检测单元获得的光学特性信息确定第一衬底与第二衬底的分离状态是否正常。

技术领域

本发明涉及衬底分离方法、衬底分离设备及使用该衬底分离方法和该衬底分离设备制造柔性显示器的方法，更具体地，涉及用于使第一衬底与第二衬底分离并检查第一衬底与第二衬底的分离状态的衬底分离检查方法、用于使第一衬底与第二衬底分离的衬底分离设备以及使用该衬底分离检查方法和该衬底分离设备制造柔性显示器的方法。

背景技术

近年来，全球显示器市场已经迅速向平板显示器(FPD)转变，平板显示器易于制造为大型、轻薄的显示器。

FPD包括液晶显示器(LCD)、等离子体显示板(PDP)、和有机发光显示器(OLED)。然而，由于大多数典型的LCD、PDP、或OLED使用玻璃衬底，所以它们不是柔性的，因此使用范围或应用范围受限。

与此同时，柔性显示器已发展成为下一代显示器。柔性显示器使用由柔性材料(如塑料材料或箔)形成的柔性衬底，而不是使用玻璃衬底，因此可弯曲或扭曲。

柔性显示器需要柔性衬底。然而，由于柔性衬底具有有限的耐热性，所以应用用于使用在用于玻璃衬底的板制造中的柔性衬底并不容易。为了解决这种挑战，已研究了多种方法以通过使用玻璃衬底作为基底然后移除玻璃衬底从而在板形成之后将柔性施加至板。

发明内容

本发明的多个方面提供了衬底分离检查方法，在该方法中可获得第一衬底和/或第二衬底的光学特性信息，并且可基于获得的光学特性信息确定第一衬底与第二衬底的分离状态。

本发明的多个方面还提供了衬底分离设备，其可实时地确定第一 衬底与第二衬底的分离状态是否正常。

本发明的多个方面还提供了制造柔性显示器的方法，其可通过在柔性显示器的制造过程中实时识别衬底的分离状态降低不良率并提高生产率。

然而，本发明的多个方面并不限于本文中所阐述的方面。通过参照下面给出的本发明的详细描述，本发明的以上及其他方面将对本领域普通技术人员变得更加显而易见。

根据本发明的一方面，提供了衬底分离检查方法，其包括制备衬底组件、施加激光至衬底组件、获得第一衬底和/或第二衬底的光学特性信息以及识别第一衬底与第二衬底的分离状态。

根据本发明的另一方面，提供了衬底分离设备，其包括衬底组件、激光照射单元、检测单元、以及确定单元，其中衬底组件具有第一衬底以及附接至第一衬底的第二衬底，激光照射单元向衬底组件施加激光，检测单元获得第一衬底和/或第二衬底的光学特性信息，确定单元基于通过检测单元获得的光学特性信息确定第一衬底与第二衬底的分离状态是否正常。

根据本发明的另一方面，提供了制造柔性显示器的方法，其包括结合第一衬底与第二衬底、在第二衬底上形成TFT阵列、在第二衬底的上表面上附接上保护膜、执行用于使第一衬底与第二衬底分离的主衬底分离操作、在第二衬底的下表面上附接下膜、以及执行用于使上保护膜与第二衬底的上表面分离的次衬底分离操作。

通过下面的详细描述、附图和权利要求书，其他特征和方面将变得显而易见。

根据实施方式，通过获得第一衬底和/或第二衬底的光学特性信息，几乎可实时确定第一衬底和第二衬底是否已适当地彼此分离。

此外，通过实时识别第一衬底与第二衬底的分离状态，可降低柔性显示器的不良率。

附图说明