[发明专利]弹性波装置及电路基板

权利要求书

1.一种弹性波装置，其具备配置有激励电极的基板和覆盖所述激励电极的罩部件，

该罩部件具有孔部，该孔部在内部具有与所述激励电极电连接的端子，

该孔部在剖视观察下，第一位置处的与所述基板的表面平行的第一宽度比第二位置处的与所述基板的表面平行的第二宽度大，所述第二位置位于比所述第一位置靠所述基板侧的位置。

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

所述罩部件具有配置在所述基板上的壁部和配置在该壁部上的盖部。

3.根据权利要求2所述的弹性波装置，其中，

所述壁部由与所述盖部不同的材料构成。

4.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

所述罩部件具有配置在所述基板上的壁部，该壁部由光固化性材料构成。

5.根据权利要求4所述的弹性波装置，其中，

构成所述壁部的光固化性材料为氨酯丙烯酸酯系、聚酯丙烯酸酯系、环氧丙烯酸酯系的树脂。

6.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

在所述激励电极上具有覆盖该激励电极的保护层，

所述罩部件从所述保护层的上方覆盖所述激励电极。

7.根据权利要求6所述的弹性波装置，其中，

所述保护层还覆盖所述激励电极的周围的所述基板的表面，所述罩部件具有配置在覆盖所述基板的表面的所述保护层上的壁部和配置在该壁部上的盖部。

8.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

所述罩部件具有配置在所述基板上的壁部，

所述孔部位于所述壁部内。

9.根据权利要求2所述的弹性波装置，其中，

所述孔部在剖视观察下，在所述壁部内具有所述第一宽度比所述第二宽度大的第一区域。

10.根据权利要求2或9所述的弹性波装置，其中，

所述孔部在剖视观察下，在所述盖部内具有所述第一宽度比所述第二宽度大的第二区域。

11.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

在所述基板与所述罩部件之间还具有位于所述激励电极上的振动空间，

所述罩部件具有通过所述罩部件的所述振动空间侧的内表面在剖视观察下以面对所述基板的方式倾斜而成的曲线部分。

12.根据权利要求11所述的弹性波装置，其中，

所述罩部件具有配置在所述基板上的壁部和配置在该壁部上的盖部，

所述壁部具有所述曲线部分。

13.根据权利要求12所述的弹性波装置，其中，

所述曲线部分配置在所述壁部的所述盖部侧。

14.根据权利要求2所述的弹性波装置，其中，

所述壁部具有以面对所述盖部的方式倾斜的部分。

15.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

所述孔部具有随着朝向所述基板的相反侧而宽度增大的锥形状的部分。

16.根据权利要求15所述的弹性波装置，其中，

所述孔部具有多个所述锥形状的部分。

17.根据权利要求16所述的弹性波装置，其中，

多个所述锥形状的部分的相对于所述基板的主面的倾斜角度互不相同。

18.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

所述孔部在内壁面具有阶梯差。

19.根据权利要求2所述的弹性波装置，其中，

所述壁部或者所述盖部是正型或者负型的光刻材料。

20.根据权利要求2所述的弹性波装置，其中，

所述壁部或者所述盖部的厚度设定为数μm～30μm。

21.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

所述弹性波装置在所述基板上具有与所述激励电极电连接的连接用导体，还具有配置在所述连接用导体上的连接强化层。

22.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

所述激励电极由梳状电极或者压电薄膜谐振器构成。