[发明专利]一种多晶硅还原炉联锁系统

权利要求书

1.一种多晶硅还原炉联锁系统，包括：控制器、电控柜、用于控制三氯氢硅进料管线导通或断开的三氯氢硅切断阀、用于控制含氢废气管线导通或断开的含氢废气切断阀、用于控制不含氢废气管线导通或断开的不含氢废气切断阀、用于控制尾气管线导通或断开的尾气切断阀和用于控制抽真空管线导通或断开的抽真空切断阀，其特征在于，

控制器用于，根据预设的控制周期获取还原炉的状态信号，当获取到还原炉的停止状态信号时，向三氯氢硅切断阀发送关闭控制信号，并锁死三氯氢硅切断阀，以触发电控柜停止联锁，以及，检测含氢废气切断阀、不含氢废气切断阀、尾气切断阀和抽真空切断阀的状态，以投用尾气阀互锁联锁；当检测到含氢废气切断阀、不含氢废气切断阀、尾气切断阀和抽真空切断阀当中任一个阀门处于开启状态时，向其余的3个阀门发送关闭控制信号并锁死，以触发尾气阀互锁联锁；其中，所述其余的3个阀门是指所述含氢废气切断阀、不含氢废气切断阀、尾气切断阀和抽真空切断阀中除所述处于开启状态的阀门之外的3个阀门。

2.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述控制器还用于，当检测到含氢废气切断阀、不含氢废气切断阀、尾气切断阀和抽真空切断阀均为闭合状态时，向含氢废气切断阀、不含氢废气切断阀、尾气切断阀和抽真空切断阀发送解锁控制信号，以解除尾气阀互锁联锁。

3.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述控制器还用于，当获取到还原炉的运行状态信号时，或者，当获取到还原炉的停止状态信号，并接收到用户发送的尾气阀互锁停用控制信号时，停止检测含氢废气切断阀、不含氢废气切断阀、尾气切断阀和抽真空切断阀的状态，并向含氢废气切断阀、不含氢废气切断阀、尾气切断阀和抽真空切断阀中锁死的阀门发送解锁控制信号，以停止投用并解除尾气阀互锁联锁。

4.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述控制器还用于，当获取到还原炉的运行状态信号时，或者，当获取到还原炉的停止状态信号，并接收到用户发送的电控柜停止联锁解除控制信号时，向三氯氢硅切断阀发送解锁控制信号，以解除电控柜停止联锁。

5.如权利要求1-4任一项所述的系统，其特征在于，所述系统还包括：用于控制氢气进料管线导通或断开的氢气切断阀和设置在控制器上的急停按钮；

所述控制器还用于，当获取到还原炉的运行状态信号时，使能急停按钮，以投用急停联锁；当获取到还原炉的停止状态信号时，令急停按钮失效，以停止投用急停联锁；当接收到还原炉急停控制信号时，向电控柜发送能使还原炉停止运行的急停控制信号，并向三氯氢硅切断阀和氢气切断阀发送关闭控制信号，以触发急停联锁；其中，所述还原炉急停控制信号是急停按钮被按下时，向控制器发送的。

6.如权利要求5所述的系统，其特征在于，所述系统还包括：设置在控制器上的挂起按钮；

所述控制器还用于，当获取到还原炉的运行状态信号时，使能挂起按钮，以投用挂起联锁；当接收到还原炉挂起控制信号时，向三氯氢硅切断阀和氢气切断阀发送关闭控制信号，并锁死三氯氢硅切断阀和氢气切断阀，以触发挂起联锁，其中，所述还原炉挂起控制信号是挂起按钮使能后并被按下时，向控制器发送的；当获取到还原炉的停止状态信号时，令挂起按钮失效，并向三氯氢硅切断阀和氢气切断阀的挂起联锁发送解锁控制信号，以停止投用并解除挂起联锁；当获取到还原炉的运行状态信号，并接收到还原炉挂起控制信号，且三氯氢硅切断阀和氢气切断阀处于关闭并锁死的状态时，如需要解除挂起联锁，则向三氯氢硅切断阀和氢气切断阀发送解锁控制信号，以解除挂起联锁。