[发明专利]一种蓝宝石衬底抛光液的制备方法

权利要求书

1.一种蓝宝石衬底抛光液的制备方法，其特征在于，其方法步骤如下：

(1)采用膜过滤设备去除硅溶胶原料中的金属离子和其他杂质；

(2)在真空负压状态下将上述过滤后的浓度为48％～50％的硅溶胶加入密闭反应罐中；

(3)在真空负压状态下将稳定剂加入密闭反应罐中；

(4)在真空负压状态下将PH值为8.0～8.5的增效剂加入密闭反应罐中；

(5)将密闭反应罐中的液体在负压翻滚状态下充分搅拌60分钟，混合均匀后进行灌装。

2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石衬底抛光液的制备方法，其特征在于，所述密闭反应罐在使用前采用超纯水在真空负压翻滚状态下清洗六遍；所述密闭反应罐采用无污染的亚克力材料制成。

3.根据权利要求1所述的一种蓝宝石衬底抛光液的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)中的膜过滤设备采用100纳米级陶瓷膜过滤系统。

4.根据权利要求1所述的一种蓝宝石衬底抛光液的制备方法，其特征在于，所述步骤(3)中加入的稳定剂重量占抛光液总重量的0.5％～0.8％。

5.根据权利要求1所述的一种蓝宝石衬底抛光液的制备方法，其特征在于，所述步骤(4)中加入的增效剂重量占抛光液总重量的0.2％～0.6％。

6.根据权利要求4所述的一种蓝宝石衬底抛光液的制备方法，其特征在于，所述稳定剂为碳酸胍。

7.根据权利要求5所述的一种蓝宝石衬底抛光液的制备方法，其特征在于，所述增效剂采用脂肪醇聚氧乙烯醚、乳化剂OP-10和超纯水按质量比1:1:1的比例混合制备而成。

8.根据权利要求1所述的一种蓝宝石衬底抛光液的制备方法，其特征在于，所述步骤(2)中的硅溶胶是粒径为80nm～90nm、胶粒形状为球形、分散度小于0.001、莫氏硬度为6的二氧化硅溶胶。