[发明专利]分区激励式三自由度超声电机振子

权利要求书

1.分区激励式三自由度超声电机振子，其特征在于：它包括两个端盖(1)、四片压电陶瓷片(2)、法兰(3)、两个薄壁梁(4)、两个安装座(5)、两个绝缘套(6)和十个电极片(7)；

端盖(1)是一端为螺纹孔，、另一端为沉孔的块体，所述沉孔上边缘为球体驱动边界，该边界为圆形；所述法兰(3)的两个端面上分别设置有一个螺柱(3-1)，每个螺柱(3-1)上均套有一对压电陶瓷片(2)，位于上方的端盖(1)与法兰(3)之间压紧有一对压电陶瓷片(2)，位于下方的端盖(1)与法兰(3)之间压紧有一对压电陶瓷片(2)；在法兰(3)和压电陶瓷片(2)之间、两片压电陶瓷片(2)之间分别固定有电极片(7)，两片压电陶瓷片(2)之间的电极片(7)为四个相同的小型电极片，且所述同一平面内的四个电极片之间留有间隙；螺柱(3-1)与压电陶瓷片(2)、电极片(7)之间设置有绝缘套(6)，所述两个薄壁梁(4)对称设置于法兰(3)的两个侧面上，两个安装座(5)分别设置于两个薄壁梁(4)的外侧。

2.根据权利要求1所述的分区激励式三自由度超声电机振子，其特征在于：所述压电陶瓷片(2)的横截面为方形或圆形。

3.根据权利要求1所述的分区激励式三自由度超声电机振子，其特征在于：所述法兰(3)、螺柱(3-1)、两个薄壁梁(5)和两个安装座(4)为一体结构。

4.根据权利要求1所述的分区激励式三自由度超声电机振子，其特征在于：所述压电陶瓷片(2)均沿厚度方向极化，每对相邻的压电陶瓷片(2)的极化方向相反。

5.根据权利要求1所述的分区激励式三自由度超声电机振子，其特征在于：上部两片压电陶瓷片(2)之间四个电极片中位于左前侧的电极片(7-1)和位于左后侧的电极片(7-4)，以及下部两片压电陶瓷片(2)之间的四个电极片中，位于右前侧的电极片(7-6)和位于右后侧的电极片(7-7)作为一组电极片；

上部两片压电陶瓷片(2)之间的四个电极片中位于右前侧的电极片(7-2)和位于右后侧的电极片(7-3)，以及下部两片压电陶瓷片(2)之间四个电极片(7)中位于左前侧的电极片(7-5)和位于左后侧的电极片(7-8)作为另一组电极片；

该两组电极片分别连接两相交流电压信号，压电陶瓷片(2)与法兰(3)之间的电极片(7)与驱动信号公共端相连。

6.根据权利要求1所述的分区激励式三自由度超声电机振子，其特征在于：上部两片压电陶瓷片(2)之间的四个电极片中位于左前侧的电极片(7-1)和位于右前侧的电极片(7-2)，以及下部两片压电陶瓷片(2)之间的四个电极片中位于左后侧的电极片(7-8)和位于右后侧的电极片(7-7)为一组电极片；

上部两片压电陶瓷片(2)之间的四个电极片中位于左后侧的电极片(7-4)和位于右后侧的电极片(7-3)，以及下部两片压电陶瓷片(2)之间的四个电极片(7)中位于左前侧的电极片(7-5)和位于右前侧的电极片(7-6)为另一组电极片；

该两组电极片分别连接两相交流电压信号，压电陶瓷片(2)与法兰(3)之间的电极片(7)则与驱动信号公共端相连。

7.根据权利要求1所述的分区激励式三自由度超声电机振子，其特征在于：上部两片压电陶瓷片(2)之间的四个电极片(7)中位于左前侧的电极片(7-1)、下部两片压电陶瓷片(2)之间的四个电极片(7)中位于右后侧的电极片(7-7)为第一组电极片；

上部两片压电陶瓷片(2)之间的四个电极片(7)位于右前侧的电极片(7-2)、下部两片压电陶瓷片(2)之间的四个电极片(7)位于左后侧的电极片(7-8)为第二组电极片；

上部两片压电陶瓷片(2)之间的四个电极片(7)中位于右后侧的电极片(7-3)、下部两片压电陶瓷片(2)之间的四个电极片(7)中位于左前侧的电极片(7-5)为第三组电极片；

上部两片压电陶瓷片(2)之间的四个电极片(7)中位于左后侧的电极片(7-4)、下部两片压电陶瓷片(2)之间的四个电极片(7)中位于右前侧的电极片(7-6)为第四组电极片；

该四组电极片分别连接相位差互为90°的四相交流电压信号，压电陶瓷片(2)与法兰(3)之间的电极片(7)则与驱动信号公共端相连。