[发明专利]一种不锈钢表面超精密加工专用纳米浆料及其制备方法

权利要求书

1.一种不锈钢表面超精密加工专用纳米浆料，其特征在于，按重量百分比由以下组分组成：硅溶胶90-94％，抛光加速剂0.05-2％，光亮剂0.05-3％，缓蚀剂0.05-1％，pH值调节剂0.05-2％，余量为去离子水；

所述的抛光加速剂是强氧化性盐类与常规无机盐的混合物，两者的重量比为氧化性盐类：常规无机盐＝1:1-5；

所述的光亮剂是甘油、PFG-400、三乙醇胺中的一种或多种的混合物；

所述的缓蚀剂是BTA、咪唑中的一种或多种的混合物；

所述的pH值调节剂是乙二胺、三乙醇胺、三乙烯四胺或乙醇胺中的一种或多种的混合物。

2.根据权利要求1所述的不锈钢表面超精密加工专用纳米浆料，其特征在于，所述的硅溶胶是粒径40-150nm的纳米硅溶胶。

3.根据权利要求1所述的不锈钢表面超精密加工专用纳米浆料，其特征在于，所述的强氧化性盐类是碘酸钾、过硫酸钾中的一种或多种的混合物。

4.根据权利要求1所述的不锈钢表面超精密加工专用纳米浆料，其特征在于，所述常规无机盐是氯化钾、溴化钠、氯化钠、四甲基氢氧化铵中的一种或多种的混合物。

5.根据权利要求1-4任一所述的不锈钢表面超精密加工专用纳米浆料，其特征在于，所述强氧化性盐类与常规无机盐的重量比为1:3。

6.一种权利要求1所述不锈钢表面超精密加工专用纳米浆料的制备方法其特征在于，依次按如下步骤进行：在室温条件下，一边搅拌、一边将抛光加速剂加入到去离子水中，待完全溶解后，得混合水溶液；静置、冷却至室温，将混合水溶液加入硅溶胶中，边加边搅拌，控制加入流量在90-110ml/min，充分搅拌混合均匀；接着将光亮剂溶解在去离子水中，配成水溶液后加入到硅溶胶中，边加边搅拌，流量控制在90-110ml/min；再将缓蚀剂溶解在去离子水中，配成水溶液后加入到上述抛光液中；最后用pH值调节剂将抛光液的pH值控制在9.0-12.5，即成为用于不锈钢抛光的抛光纳米浆料。