[发明专利]一种触控屏感应器的制作方法

权利要求书

1.一种触控屏感应器的制作方法，其特征在于：包括以下步骤：

S1：对溅射有氧化铟锡层的玻璃基板或PET板进行清洗并干燥；

S2：在黄光条件下，采用覆膜方式在所述氧化铟锡层上覆上固态光刻胶；

S3：将覆上所述固态光刻胶的所述玻璃基板或PET板放置在掩膜版上，曝光所述固态光刻胶；

S4：使用显影液将横向电极的图案或纵向电极的图案显影，去除所述固态光刻胶中没有发生曝光反应的区域，并清洗；

S5：采用蚀刻液对氧化铟锡层进行蚀刻，去除所述氧化铟锡层中没有覆盖有已曝光的所述固态光刻胶的区域，并清洗；

S6：采用去墨液将所述固态光刻胶中发生曝光反应的区域去除，清洗并干燥，以制得所述横向电极或纵向电极；

S7：在所述玻璃基板或PET板上、所述横向电极或纵向电极边缘制作金属引线，完成触控屏感应器的制作。

2.根据权利要求1所述的触控屏感应器的制作方法，其特征在于：所述步骤S1包括：采用洗涤剂进行清洗，接着以乙醇为溶剂采用超声波清洗2～4min，再以纯水为溶剂超声波清洗2～4min；最后采用风刀吹10～250s或在95～115℃下烘烤15～19min。

3.根据权利要求1所述的触控屏感应器的制作方法，其特征在于：所述步骤S2包括：在黄光条件下，将固态光刻胶放置在氧化铟锡层上，采用覆膜方式，覆膜温度达95～105℃，覆膜压力为2～4kg/cm²、覆膜速度为2.5～3.5m/min将固态光刻胶压在氧化铟锡层上。

4.根据权利要求1所述的触控屏感应器的制作方法，其特征在于：所述步骤S3包括：将覆上所述固态光刻胶的所述玻璃基板或PET板放置在菲林、铬板或光罩上，在真空度≥700mmHg条件下，曝光能量为21级曝光尺中的7～9级的紫外光下曝光70～120s。

5.根据权利要求1所述的触控屏感应器的制作方法，其特征在于：所述步骤S4包括：在温度为28～34℃、压强为1.5-2.0 kg/cm²时，将曝光后的玻璃基板或PET板放置在显影液中显影30～50s；其中，显影液为浓度为1～3mol/L的K₂CO₃和/或Na₂CO₃溶液。

6.根据权利要求1所述的触控屏感应器的制作方法，其特征在于：所述步骤S5包括：采用是浓度为16～21mol/L的配比为HCl:HNO₃:H₂O=15～19:15～19:18～22的蚀刻液对氧化铟锡层进行蚀刻，蚀刻时间为150～200s。

7.根据权利要求1所述的触控屏感应器的制作方法，其特征在于：所述步骤S6包括：所述去墨液包括浓度为1～3mol/L的强碱溶液。

8.根据权利要求5～7任一项所述的触控屏感应器的制作方法，其特征在于：所述步骤S4～S6中的清洗包括：将玻璃基板或PET板在水压为1.5-2.0 kg/cm²的纯水中清洗1～2min；所述步骤S6中干燥包括将玻璃基板或PET板放置在95～115℃下烘烤15～19min，或采用风刀吹10～250s。

9.根据权利要求8所述的触控屏感应器的制作方法，其特征在于：所述步骤S7包括：采用丝印方式在玻璃基板或PET板上、横向电极或纵向电极的边缘丝印金属引线，所述金属引线与所述横向电极或纵向电极相连，以完成触控屏感应器的制作。

10.根据权利要求8所述的触控屏感应器的制作方法，其特征在于：所述步骤S7包括：在真空条件下，采用溅射方式在溅射有氧化铟锡层的玻璃基板或PET板上镀金属层；然后在所述金属层上采用覆膜方式覆上固态光刻胶，使用光罩曝光金属引线的图案；再使用显影剂将所述金属引线显影，并使用不与固态光刻胶反应的退镀液退镀所述金属层，以制作所述金属引线；其中，所述步骤S7发生在步骤S2之前。