[发明专利]一种精密型扩膜装置

权利要求书

1.一种精密型扩膜装置，包括由上至下依次设置的套环汽缸、套环盘、扩膜工作台、压膜板以及滚珠丝杆；其特征在于，所述精密型扩膜装置还包括触控屏和位于压膜板下方的伺服电机，所述触控屏通过可编程逻辑控制器与伺服电机相连；所述伺服电机通过马达安装板进行安装固定，所述伺服电机上的电机同步带轮与同步带的一端相连，所述同步带的另一端与主同步带轮相连；所述滚珠丝杆穿过马达安装板并与扩膜工作台相连；所述马达安装板上还设置有导向杆和直线轴承。

2.如权利要求1所述的一种精密型扩膜装置，其特征在于，所述伺服电机安装于马达安装板的下方。

3.如权利要求1所述的一种精密型扩膜装置，其特征在于，所述滚珠丝杆通过主同步带轮的驱动而做旋转运动。

4.如权利要求3所述的一种精密型扩膜装置，其特征在于，所述滚珠丝杆驱动扩模工作台做纵向升降运动。

5.如权利要求4所述的一种精密型扩膜装置，其特征在于，通过所述导向杆和直线轴承来避免扩膜工作台在水平面内的旋转运动。

6.如权利要求1所述的一种精密型扩膜装置，其特征在于，所述套环盘在套环汽缸的驱动下做纵向的升降运动。