[发明专利]一种细胞定位单元、阵列、器件及其形成方法

权利要求书

1.一种细胞定位单元，其特征在于，包括：

衬底；

衬底上的至少一对微电极，微电极之间相间隔且每对微电极相对同一点呈对称分布，以在微电极的端部聚集区域产生正向介电力区域，相邻的微电极连接的电压信号具有相反的相位；

细胞定位孔，位于微电极之上，其容纳空间暴露出正向介电力区域，且其容纳空间容纳单个细胞。

2.根据权利要求1所述的细胞定位单元，其特征在于，所述衬底上设置至少两对条带形微电极，每对微电极的端部相对设置；该细胞定位孔的容纳空间暴露出微电极相对的端部。

3.根据权利要求1所述的细胞定位单元，其特征在于，所述微电极为圆环形，每对微电极同心设置；细胞定位孔与微电极同心设置。

4.根据权利要求2-3中任一项所述的细胞定位单元，其特征在于，所述细胞定位孔为圆环孔或方形孔，圆环孔的直径或者方形孔的边长的范围为待测细胞的一倍直径和两倍直径之间。

5.一种细胞定位阵列，其特征在于，为多个由如权利要求1-4中任一项所述细胞定位单元形成的阵列。

6.一种细胞定位器件，其特征在于，包括：

如权利要求5所述的细胞定位阵列；

位于衬底之上的容纳细胞定位阵列的流体腔，流体腔开口上具有微流控芯片。

7.一种细胞定位单元/阵列的形成方法，其特征在于，包括步骤：

提供衬底；

在所述衬底之上形成至少一对微电极，微电极之间相间隔且每对微电极相对同一点呈对称分布，以在微电极的端部聚集区域产生正向介电力区域，相邻的微电极连接的电压信号具有相反的相位；

在微电极之上形成细胞定位孔，细胞定位孔的容纳空间暴露出正向介电力区域，且其容纳空间容纳单个细胞。

8.根据权利要求7所述的形成方法，其特征在于，所述衬底上设置至少两对条带形微电极，每对微电极的端部相对设置；该细胞定位孔的容纳空间暴露出微电极相对的端部。

9.根据权利要求7所述的形成方法，其特征在于，所述微电极为圆环形，每对微电极同心设置；细胞定位孔与微电极同心设置。

10.根据权利要求8-9中任一项所述的形成方法，其特征在于，所述细胞定位孔为圆环孔或方形孔，圆环孔的直径或者方形孔的边长的范围为待测细胞的一倍直径和两倍直径之间。

11.一种细胞定位器件的形成方法，其特征在于，包括：

如权利要求7-10中任一项所述的形成方法；

在衬底上形成容纳细胞定位阵列的流体腔，流体腔开口上具有微流控芯片。

12.根据权利要求11所述的细胞定位器件的形成方法，其特征在于，所述流体腔为聚合物材料，在外压力作用下一端与衬底键合，另一端与微流控芯片键合。