[发明专利]具有存储层材料的磁性元件有效

专利信息
申请号: 201410283280.1 申请日: 2010-01-13
公开(公告)号: CN104021812B 公开(公告)日: 2018-10-26
发明(设计)人: 朱晓春;李霞;升·H·康 申请(专利权)人: 高通股份有限公司
主分类号: G11C11/155 分类号: G11C11/155;H01L43/10
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 宋献涛
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 具有 存储 材料 磁性 元件
【权利要求书】:

1.一种磁性隧道结MTJ元件,其包含:

参考铁磁性层;

存储铁磁性层,其包含经由非磁性子层耦合到铁磁性辅助子层的钴-铁-硼(CoFeB)铁磁性子层,其中所述铁磁性辅助子层包含耦合到镍-铁(NiFe)子层的钴-铁(CoFe)子层,其中所述钴-铁-硼(CoFeB)铁磁性子层被配置为以铁磁性方式耦合到所述铁磁性辅助子层,且所述镍-铁(NiFe)子层被配置为减少磁致伸缩诱导的切换电流及切换场变化;以及

绝缘层,其安置于所述参考铁磁性层与所述存储铁磁性层之间。

2.根据权利要求1所述的MTJ元件,其中所述铁磁性辅助子层的所述钴-铁(CoFe)子层介于所述铁磁性辅助子层的所述镍-铁(NiFe)子层与所述非磁性子层之间。

3.根据权利要求1所述的MTJ元件,其中所述非磁性子层为钌(Ru)且具有在至的范围内的厚度。

4.一种磁性隧道结MTJ元件,其包含:

参考铁磁性层;

存储铁磁性层,其包含经由非磁性子层耦合到铁磁性辅助子层的钴-铁-硼(CoFeB)铁磁性子层,其中所述铁磁性辅助子层包含耦合到镍-铁(NiFe)子层的钴-铁-硼(CoFeB)子层,其中所述钴-铁-硼(CoFeB)铁磁性子层被配置为以铁磁性方式耦合到所述铁磁性辅助子层,且所述镍-铁(NiFe)子层被配置为减少磁致伸缩诱导的切换电流及切换场变化;以及

绝缘层,其安置于所述参考铁磁性层与所述存储铁磁性层之间。

5.根据权利要求4所述的MTJ元件,其中所述铁磁性辅助子层的钴-铁-硼(CoFeB)子层介于所述铁磁性辅助子层的所述镍-铁(NiFe)子层与所述非磁性子层之间。

6.根据权利要求4所述的MTJ元件,其中所述非磁性子层为钌(Ru)且具有在至的范围内的厚度。

7.一种形成磁性隧道结(MTJ)装置的方法,其包含:

形成参考铁磁性层;

形成存储铁磁性层,所述存储铁磁性层包含经由非磁性子层耦合到铁磁性辅助子层的钴-铁-硼(CoFeB)铁磁性子层,其中所述铁磁性辅助子层包含耦合到镍-铁(NiFe)子层的钴-铁(CoFe)子层,其中所述钴-铁-硼(CoFeB)铁磁性子层以铁磁性方式耦合到所述铁磁性辅助子层,且所述镍-铁(NiFe)子层被配置为减少磁致伸缩诱导的切换电流及切换场变化;以及

形成绝缘层,所述绝缘层安置于所述参考铁磁性层与所述存储铁磁性层之间。

8.根据权利要求7所述的方法,其中所述铁磁性辅助子层的所述钴-铁(CoFe)子层介于所述铁磁性辅助子层的所述镍-铁(NiFe)子层与所述非磁性子层之间。

9.根据权利要求7所述的方法,其中所述非磁性子层为钌(Ru)且具有在至的范围内的厚度。

10.一种形成磁性隧道结(MTJ)装置的方法,其包含:

形成参考铁磁性层;

形成存储铁磁性层,所述存储铁磁性层包含经由非磁性子层耦合到铁磁性辅助子层的钴-铁-硼(CoFeB)铁磁性子层,其中所述铁磁性辅助子层包含耦合到镍-铁(NiFe)子层的钴-铁-硼(CoFeB)子层,其中所述钴-铁-硼(CoFeB)铁磁性子层以铁磁性方式耦合到所述铁磁性辅助子层,且所述镍-铁(NiFe)子层被配置为减少磁致伸缩诱导的切换电流及切换场变化;以及

形成绝缘层,所述绝缘层安置于所述参考铁磁性层与所述存储铁磁性层之间。

11.根据权利要求10所述的方法,其中所述铁磁性辅助子层的所述钴-铁-硼(CoFeB)子层介于所述铁磁性辅助子层的所述镍-铁(NiFe)子层与所述非磁性子层之间。

12.根据权利要求10所述的方法,其中所述磁性子层为钌(Ru)且具有在至的范围内的厚度。

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