[发明专利]具有存储层材料的磁性元件有效
申请号: | 201410283280.1 | 申请日: | 2010-01-13 |
公开(公告)号: | CN104021812B | 公开(公告)日: | 2018-10-26 |
发明(设计)人: | 朱晓春;李霞;升·H·康 | 申请(专利权)人: | 高通股份有限公司 |
主分类号: | G11C11/155 | 分类号: | G11C11/155;H01L43/10 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 宋献涛 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 存储 材料 磁性 元件 | ||
1.一种磁性隧道结MTJ元件,其包含:
参考铁磁性层;
存储铁磁性层,其包含经由非磁性子层耦合到铁磁性辅助子层的钴-铁-硼(CoFeB)铁磁性子层,其中所述铁磁性辅助子层包含耦合到镍-铁(NiFe)子层的钴-铁(CoFe)子层,其中所述钴-铁-硼(CoFeB)铁磁性子层被配置为以铁磁性方式耦合到所述铁磁性辅助子层,且所述镍-铁(NiFe)子层被配置为减少磁致伸缩诱导的切换电流及切换场变化;以及
绝缘层,其安置于所述参考铁磁性层与所述存储铁磁性层之间。
2.根据权利要求1所述的MTJ元件,其中所述铁磁性辅助子层的所述钴-铁(CoFe)子层介于所述铁磁性辅助子层的所述镍-铁(NiFe)子层与所述非磁性子层之间。
3.根据权利要求1所述的MTJ元件,其中所述非磁性子层为钌(Ru)且具有在至的范围内的厚度。
4.一种磁性隧道结MTJ元件,其包含:
参考铁磁性层;
存储铁磁性层,其包含经由非磁性子层耦合到铁磁性辅助子层的钴-铁-硼(CoFeB)铁磁性子层,其中所述铁磁性辅助子层包含耦合到镍-铁(NiFe)子层的钴-铁-硼(CoFeB)子层,其中所述钴-铁-硼(CoFeB)铁磁性子层被配置为以铁磁性方式耦合到所述铁磁性辅助子层,且所述镍-铁(NiFe)子层被配置为减少磁致伸缩诱导的切换电流及切换场变化;以及
绝缘层,其安置于所述参考铁磁性层与所述存储铁磁性层之间。
5.根据权利要求4所述的MTJ元件,其中所述铁磁性辅助子层的钴-铁-硼(CoFeB)子层介于所述铁磁性辅助子层的所述镍-铁(NiFe)子层与所述非磁性子层之间。
6.根据权利要求4所述的MTJ元件,其中所述非磁性子层为钌(Ru)且具有在至的范围内的厚度。
7.一种形成磁性隧道结(MTJ)装置的方法,其包含:
形成参考铁磁性层;
形成存储铁磁性层,所述存储铁磁性层包含经由非磁性子层耦合到铁磁性辅助子层的钴-铁-硼(CoFeB)铁磁性子层,其中所述铁磁性辅助子层包含耦合到镍-铁(NiFe)子层的钴-铁(CoFe)子层,其中所述钴-铁-硼(CoFeB)铁磁性子层以铁磁性方式耦合到所述铁磁性辅助子层,且所述镍-铁(NiFe)子层被配置为减少磁致伸缩诱导的切换电流及切换场变化;以及
形成绝缘层,所述绝缘层安置于所述参考铁磁性层与所述存储铁磁性层之间。
8.根据权利要求7所述的方法,其中所述铁磁性辅助子层的所述钴-铁(CoFe)子层介于所述铁磁性辅助子层的所述镍-铁(NiFe)子层与所述非磁性子层之间。
9.根据权利要求7所述的方法,其中所述非磁性子层为钌(Ru)且具有在至的范围内的厚度。
10.一种形成磁性隧道结(MTJ)装置的方法,其包含:
形成参考铁磁性层;
形成存储铁磁性层,所述存储铁磁性层包含经由非磁性子层耦合到铁磁性辅助子层的钴-铁-硼(CoFeB)铁磁性子层,其中所述铁磁性辅助子层包含耦合到镍-铁(NiFe)子层的钴-铁-硼(CoFeB)子层,其中所述钴-铁-硼(CoFeB)铁磁性子层以铁磁性方式耦合到所述铁磁性辅助子层,且所述镍-铁(NiFe)子层被配置为减少磁致伸缩诱导的切换电流及切换场变化;以及
形成绝缘层,所述绝缘层安置于所述参考铁磁性层与所述存储铁磁性层之间。
11.根据权利要求10所述的方法,其中所述铁磁性辅助子层的所述钴-铁-硼(CoFeB)子层介于所述铁磁性辅助子层的所述镍-铁(NiFe)子层与所述非磁性子层之间。
12.根据权利要求10所述的方法,其中所述磁性子层为钌(Ru)且具有在至的范围内的厚度。
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