[发明专利]一种咪唑啉型中和缓蚀剂及其制备方法

权利要求书

1.一种咪唑啉型中和缓蚀剂，其特征在于：该缓蚀剂由按重量份计的下述组分组成：

主缓蚀剂15-40份

中和剂10-20份

分散剂2-5份

溶剂35-73份

所述的主缓蚀剂选自咪唑啉的衍生物和长链有机胺，且咪唑啉的衍生物和长链有机胺的质量比为3∶1-5∶1；

所述的中和剂选自质量分数为20％的氨水与甲胺或二甲胺或乙胺或二乙胺或乙二胺按任意比例混合的混合物；

所述的分散剂选自聚乙二醇或木质素磺酸盐或石油磺酸盐；

所述的溶剂选自甲醇或乙醇或乙二醇或丙醇或丙二醇。

2.如权利要求1所述的一种咪唑啉型中和缓蚀剂，其特征在于：咪唑啉的衍生物是油酸基咪唑啉，长链有机胺是C10-C18的正构烷胺。

3.如权利要求1所述的一种咪唑啉型中和缓蚀剂，其特征在于：中和剂为质量分数为20％的氨水与乙二胺，按照任意比例混合的混合物。

4.如权利要求1所述的一种咪唑啉型中和缓蚀剂，其特征在于：分散剂选自木质素磺酸盐。

5.如权利要求1所述的一种咪唑啉型中和缓蚀剂，其特征在于：溶剂选自乙二醇。

6.制备权利要求1所述的咪唑啉型中和缓蚀剂的方法，其特征在于，包括下述步骤：按计量份分别称取主缓蚀剂、中和剂、分散剂，将其置入计量份的溶剂中，搅拌均匀即得到咪唑啉型中和缓蚀剂。