[发明专利]一种生产铜锌锡旋转靶材的模具及其方法

权利要求书

1.一种生产铜锌锡旋转靶材的模具，其特征是：包括浇铸口（1），浇铸口（1）与模具外套（2）连接；模具外套（2）内设置有衬管（4），模具外套（2）和衬管（4）之间设置有圆环型空腔（3）；模具外套（2）和衬管（4）的底部采用底部密封环（5）密封。

2.如权利要求1所述生产铜锌锡旋转靶材的模具，其特征是：所述浇铸口（1）与圆环型空腔（3）之间通过流淌管连通，流淌管向圆环型空腔（3）内部倾斜。

3.如权利要求1所述生产铜锌锡旋转靶材的模具，其特征是：所述外套（2）内壁上涂覆有一层隔离层；所述隔离层为DY08涂料。

4.一种生产铜锌锡旋转靶材的方法，其特征是步骤为：

（1）熔炼：按铜：锌：锡摩尔比为1.5-2.3：0.7-1.2：0.8-1.1取原料；开启真空感应熔炼炉，抽真空至0.01-1Pa，通氮气，压力达到0.08-0.1MPa时，再次抽真空至0.01-1Pa；向熔炼炉中投入原料锡，250-270℃熔炼至完全熔化，控制温度为250-300℃，投入铜，继续熔炼至完全熔化，升温至670-750℃，精炼25-35min，最后投入锌，控制温度不超过700℃快速熔化，全部熔化后，在680-690℃精炼8-12min，得到浇铸液；

（2）浇铸：取生产铜锌锡旋转靶材的模具，在200-450℃烘干，并预热至200-600℃，将步骤（1）得到的浇铸液浇铸进模具中；通过流淌管进入圆环型空腔（3），涂覆在外套（2）内壁上的涂料防止模具溶解在浇铸液中，浇铸完成后，去除浇铸口（1），用石墨环盖住模具上端，在800-850℃保温8-12min；

（3）冷却：将保温后的模具置入水箱中进行冷却，水箱中设置有水循环和搅拌装置，保持水温在15-25℃之间，冷却4-6min后取出，脱模，即得到铜锌锡旋转靶材。