[发明专利]一种探针步进及精密测位的自动装置

权利要求书

1.一种探针步进及精密测位的自动装置，其特征在于：包括固定在定位密封法兰（1）上的步进装置主支架（2），在所述的步进装置主支架（2）上安装有滑轨（9），在滑轨（9）上安装有穿过定位密封法兰（1）的探针（7），还包括滑轨（9）的驱动机构、以及测量探针（7）移动距离的测量机构。

2.根据权利要求1所述的一种探针步进及精密测位的自动装置，其特征在于：所述的滑轨（9）为Z字形轨道，其包括一个移动方向与定位密封法兰（1）轴线相互平行的主体，在其两端分别设置有垂直部，在其中一个垂直部上安装有步进滑块（4），步进滑块（4）固定连接在测量探针（7）上，另一个垂直部与驱动机构连接。

3.根据权利要求1所述的一种探针步进及精密测位的自动装置，其特征在于：所述测量机构包括固定在测量探针（7）上的定位夹具（6），在定位夹具（6）上设置有百分表（8），百分表（8）上具有伸缩杆（5），百分表（8）的输出通过数据线传递给计算机（15）。

4.根据权利要求1至3中任意一项所述的一种探针步进及精密测位的自动装置，其特征在于：所述的驱动机构包括通过电机定位底座（13）固定的电机（14），电机（14）的电机轴（12）上安装有丝杆（10），在滑轨（9）上设置有与丝杠（10）相匹配的内螺纹通孔，丝杆（10）转动后推动滑轨（9）在其轴线上移动。

5.根据权利要求4所述的一种探针步进及精密测位的自动装置，其特征在于：所述电机（14）为伺服电机，通过控制器（16）可以控制伺服电机的转动圈数。

6.根据权利要求1所述的一种探针步进及精密测位的自动装置，其特征在于：在所述的步进装置主支架（2）上安装有安全限位针（11）。