[发明专利]表面等离激元波导

权利要求书

1.一种表面等离激元波导，其特征在于，包括：

金属衬底，以及位于所述衬底上的且相互平行的至少2个金属墙；

所述金属墙之间形成沟槽，使得表面等离激元在所述沟槽底部的金属衬底表面沿着所述沟槽的延伸方向传播。

2.根据权利要求1所述的表面等离激元波导，其特征在于，所述表面等离激元波导还包括：

位于所述金属衬底表面和金属墙表面的介质层。

3.根据权利要求1所述的表面等离激元波导，其特征在于，所述金属墙之间的沟槽宽度大于所述表面等离激元等效波长的一半。

4.根据权利要求1所述的表面等离激元波导，其特征在于，所述金属墙的高度大于等于50nm。

5.根据权利要求1所述的表面等离激元波导，其特征在于，所述金属墙的厚度大于等于所述表面等离激元在该金属墙中穿透深度的4倍。

6.根据权利要求5所述的表面等离激元波导，其特征在于，所述金属墙的厚度大于等于100nm。

7.根据权利要求1至6任一项所述的表面等离激元波导，其特征在于：在工作波长下，所述金属衬底和金属墙材料的介电常数的实部小于零。

8.根据权利要求7所述的表面等离激元波导，其特征在于，所述金属衬底材料和金属墙材料相同或者不同。

9.根据权利要求7所述的表面等离激元波导，其特征在于：

所述金属墙材料由一种材料构成；

或者，所述金属墙材料由叠加的至少两种材料层构成。

10.根据权利要求7所述的表面等离激元波导，其特征在于，所述金属衬底和金属墙的材料包括金、银、铝中至少1种金属或者至少2种金属的合金。

11.根据权利要求2所述的表面等离激元波导，其特征在于：

所述介质层材料的介电常数实部大于零，且所述介质层材料的介电常数实部的绝对值小于所述金属衬底和金属墙材料介电常数实部的绝对值。

12.根据权利要求11所述的表面等离激元波导，其特征在于，所述介质层材料包括空气、水、二氧化硅和/或硅。

13.根据权利要求1至6任一项所述的表面等离激元波导，其特征在于：

位于所述沟槽两侧的金属墙侧壁在所述金属衬底表面呈直线延伸；或者

位于所述沟槽两侧的金属墙侧壁在所述金属衬底表面呈折线延伸；或者

位于所述沟槽两侧的金属墙侧壁在所述金属衬底表面呈曲线延伸；或者

位于所述沟槽两侧的金属墙侧壁在所述金属衬底表面呈直线、折线和曲线相结合形式延伸。