[发明专利]一种用于芯片总剂量辐照试验的探针台

说明书

技术领域

本发明涉及微电子辐照测试技术领域，尤其一种用于芯片总剂量辐照试验的探针台。

背景技术

探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路晶圆的测试，目前探针台还未应用于微电子芯片辐照测试领域，主要是因为传统的探针台一般是将显微镜和探针台固定结合在一起，显微镜不能用于辐照测试环境，且显微镜和探针台结合在一起体积较大、质量大，搬运麻烦，无法进入辐照试验腔进行辐照试验。

发明内容

本发明的目的在于提供一种探针台与显微镜分体设计，能够进入辐照试验腔进行辐照试验的。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

一种用于芯片总剂量辐照试验的探针台，包括探针台体、显微镜、固定支架和显示屏，所述显微镜和显示屏固定在固定支架上，所述探针台体单独的放置在显微镜正下方的固定支架的底座上，所述探针台体包括防振基台、基台立柱和承片台，所述基台立柱固定在防振基台上，所述基台立柱上固定有探针卡，所述用于固定芯片的承片台设置在探针卡下方，所述承片台下方依次连接有回转平台、垂直升降机构和水平移动机构，所述水平移动机构下端固定在防振基座上。

进一步的，所述探针卡上固定有尖端向下的探针，且所述探针卡通四个角上设置的螺钉固定在基台立柱上。

进一步的，所述待测的芯片固定在一块基板上，并通过基板两侧设置的螺钉固定到承片台中心上。

进一步的，所述承片台通过螺钉固定在回转平台上，所述回转平台包括调节回转平台角度同时带动调节承片台上的芯片的角度的R轴调节旋钮和锁定回转平台角度的R轴锁紧旋钮，所述回转平台的转动范围为0°～360°，转动精度为5′。

进一步的，所述回转平台通过螺钉固定在垂直升降机构上，所述垂直升降机构包括调节承片台上的芯片高度的Z轴调节旋钮和固定芯片高度的Z轴锁紧旋钮，所述垂直升降机构的调节范围0～10mm，调节精度为0.01mm。

进一步的，所述垂直升降机构通过螺钉固定在水平移动机构上，所述水平移动机构包括X轴移动机构和Y轴移动机构，所述X轴移动机构包括调节承片台上的芯片X轴位置的X轴调节旋钮和固定芯片X轴位置的X轴锁紧旋钮，所述Y轴移动机构包括调节承片台上的芯片Y轴位置的Y轴调节旋钮和固定芯片Y轴位置的Y轴锁紧旋钮，所述X轴移动机构和Y轴移动机构的调节范围均为0～12mm，调节精度均为0.01mm。

进一步的，所述回转平台、垂直升降平台、水平移动机构的X轴移动机构和Y轴移动机构均设置有复位弹簧。

进一步的，所述显微镜下端还固定设置有用于照明的LED灯。

本发明的有益效果为：

1、所述用于芯片总剂量辐照试验的探针台，显微镜和探针台体分体设置，所述单独设置的探针台体结构紧凑，体积小，方便进入辐照测试腔中。

2、所述固定在探针台体上的芯片进入辐照测试腔内可与探针台体一起任意位置放置，方便将芯片对准辐照中心。

3、所述探针台体的回转平台、垂直升降平台和水平移动机构均采用复位弹簧，避免了传统的高精密滚珠丝杠在转动时的间隙影响。

4、所述探针台采用探卡扎针，可同时完成多针测试。

5、所探针台采用探针不动，芯片动的方式，保证显微镜能准确的聚焦到探针尖端上，不需多次聚焦。

附图说明

图1是本发明具体实施方式提供的用于芯片总剂量辐照试验的探针台的正视图；

图2是本发明具体实施方式提供的用于于芯片辐照测试的探针台的探针台体的正视图。

图中，1、显微镜；2、探针台体；3、承片台；4、回转平台；41、R轴锁紧旋钮；42、R轴调节旋钮；5、垂直升降机构；51、Z轴调节旋钮；52、Z轴锁紧旋钮；6、水平移动机构；61、X轴调节旋钮；62、X轴锁紧旋钮；63、Y轴调节旋钮；64、Y轴锁紧旋钮；7、基板；8、探针卡；81、探针；9、防振基台；10基台立柱；11、显示屏；12、固定支架；121、底座；13、环形LED灯。

具体实施方式

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。