[发明专利]一种吸液芯的制造方法

权利要求书

1.一种吸液芯的制造方法，其特征在于如下步骤：

(1)板基打磨：板基表面用细砂纸打磨，使其表面无氧化、被均匀粗化、表面无水迹；

(2)配置液态光致抗蚀剂溶液：按体积百分比取85％～95％的液态光致抗蚀剂与稀释剂混合；

(3)板基涂油墨：用软排笔将步骤(2)中配置好的液态光致抗蚀剂溶液均匀的涂抹到步骤(1)中板基的打磨一面；

(4)板基风干：将经过步骤(3)处理的板基放入暗箱，室温20℃，风干1小时；

(5)吸液芯图样打印：将吸液芯图样用激光打印机打印在投影胶片；

(6)板基曝光：将步骤(5)中吸液芯图样的投影胶片，覆盖在经过步骤(4)处理后、板基涂有液态光致抗蚀剂溶液的一面上，然后连同板基放置在紫外线灯下曝光；

(7)板基显影：将20g显影剂放入温度为20℃的500ml水中，搅拌均匀后，将步骤(6)中完成曝光的板基放入清洗；5分钟后吸液芯图样显现；

(8)完成步骤(7)后，待板基干燥，将步骤(2)中配置好的液态光致抗蚀剂溶液均匀的涂抹到板基的另一面及边缘，板基放在阳光下晾晒至板基干燥；

(9)腐蚀溶液配置：将三氯化铁与蒸馏水混合，得到腐蚀溶液；

(10)板基腐蚀：将经过步骤(8)处理后的板基放入步骤(9)中的腐蚀液，用风扇注风使腐蚀液流动，腐蚀100分钟～2.5小时，腐蚀液温度控制在20℃～60℃；

(11)板基脱模：将20g显影剂放入温度为50℃的500ml水中，搅拌均匀，再将经过步骤(10)处理的板基放入；5分钟后取出，得到所需图样的吸液芯。

2.根据权利要求1所述的吸液芯的制造方法，其特征在于，所述步骤(9)腐蚀溶液，是三氯化铁与蒸馏水按浓度20％～80％进行配制。

3.根据权利要求1或2所述的吸液芯的制造方法，其特征在于，所述板基采用铜板。

4.根据权利要求3所述的吸液芯的制造方法，其特征在于，所述步骤(6)中所述曝光的时间为15分钟。