[发明专利]一种利用黄皮纸研磨硅片的方法无效
| 申请号： | 201410274712.2 | 申请日： | 2014-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN104044058A | 公开（公告）日： | 2014-09-17 |
| 发明（设计）人： | 张华民;言利宏;言红平;马黎均;苏宝红 | 申请（专利权）人： | 丹阳市鑫烨光学仪器有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 沈志海 |
| 地址： | 212325 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 利用 皮纸 研磨 硅片 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种利用黄皮纸研磨硅片的方法，其特征在于：包括硅片（2）、夹具（1）、黄皮纸（3）和研磨装置，该方法包括以下步骤：将黄皮纸（3）加工成能嵌入在所述夹具（1）底部的形状，将黄皮纸（3）垫入所述夹具（1）内底侧，再将硅片（2）置于所述夹具（1）中，即黄皮纸（3）位于所述夹具（1）的底侧和所述硅片（2）之间，安装好之后便可采用研磨装置对所述硅片（2）进行研磨；所述黄皮纸（3）在研磨5~7片硅片（2）后，将黄皮纸（3）取出，将新黄皮纸（3）重新垫入夹具（1）中。
2.根据权利要求1所述的一种利用黄皮纸研磨硅片的方法，其特征在于：所述夹具（1）采用塑钢制成。
3.根据权利要求1所述的一种利用黄皮纸研磨硅片的方法，其特征在于：所述黄皮纸（3）为薄软型黄皮纸（3），此方法所采用的黄皮纸（3）的厚度为0.07~0.18mm。
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