[发明专利]湿制程系统有效

专利信息
申请号: 201410272981.5 申请日: 2014-06-18
公开(公告)号: CN105297014B 公开(公告)日: 2018-04-10
发明(设计)人: 李建光;刘以新;陈龙英;张岱辉;朱西祥 申请(专利权)人: 深圳市洁驰科技有限公司
主分类号: C23F1/08 分类号: C23F1/08;H05K3/00;H01L21/67
代理公司: 深圳中一专利商标事务所44237 代理人: 张全文
地址: 518101 广东省深圳市宝安*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 湿制程 系统
【权利要求书】:

1.湿制程系统,其特征在于:包括沿工件加工方向依序排布且在结构上相互优化设计整合的药水段装置、药水回吸装置及水洗装置,

所述药水段装置包括用于对工件板面喷淋药水并进行化学处理的药水喷淋机构;

所述药水回吸装置包括回吸段机体、设于所述回吸段机体上且用于吸取工件上药水的吸液刀、以及用于使所述吸液刀产生真空负压吸力的射流器,所述射流器的导气管与所述吸液刀可拆卸连接;

所述水洗装置包括水洗段机体,所述水洗段机体内设有用于朝工件喷射洗水的水洗喷淋机构、以及用于供给洗水的卧式泵;所述水洗喷淋机构包括上喷管及下喷管,所述上喷管与所述下喷管上均设有喷嘴;所述上喷管及所述下喷管分别设置于工件输送方向的上方和下方,所述卧式泵的出水口分别与所述上喷管及所述下喷管连通,进水口连通有容积改小的储水槽,所述储水槽与所述水洗段机体的下机体连接,所述卧式泵设于所述下机体中;

所述回吸段机体内设有用于输送工件的输送机构,所述输送机构包括多根平行设置且垂直工件传送方向的行辘、行辘枕,以及用于驱动所述行辘的传动机构;所述行辘枕的上半部开设有间隔排列的第一U形槽,所述行辘架设于所述第一U形槽中;

所述行辘枕的下半部开设有第二U形槽;所述吸液刀包括上吸液刀及下吸液刀,所述行辘枕的上侧设有用于紧固所述上吸液刀的第一紧固件及第二紧固件,所述上吸液刀套设于所述第一紧固件上,并支撑于所述第二紧固件中;所述下吸液刀设于所述第二U形槽中,所述第二U形槽中设有用于紧固所述下吸液刀的第三紧固件;

所述第一紧固件上开设有插槽,所述第二紧固件上开设有插孔,所述上吸液刀插设于所述插槽中,并贯穿于所述插孔中,所述上吸液刀可于所述插孔中上下振动。

2.如权利要求1所述的湿制程系统,其特征在于:所述上吸液刀及所述下吸液刀均垂直于工件传送方向,且均设有多个吸液孔。

3.如权利要求1或2所述的湿制程系统,其特征在于:所述药水回吸装置还包括用于储存药水的储液槽,所述储液槽与所述射流器的出液口连通,所述回吸段机体内设有立式泵,所述立式泵的进水端与所述储液槽连通,出水端与所述射流器的进液口连通。

4.如权利要求3所述的湿制程系统,其特征在于:所述药水段装置还包括药水段机体、以及用于提供动力抽取药水的立式电机,所述立式电机的进水管与所述储液槽连通,出水管与所述药水喷淋机构连通。

5.如权利要求1或2所述的湿制程系统,其特征在于:所述水洗段机体包括上机体及下机体,所述上机体与所述下机体通过一朝下倾斜设置的隔板隔开,所述水洗喷淋机构设于所述上机体中,所述卧式泵均设于所述下机体中。

6.如权利要求5所述的湿制程系统,其特征在于:所述储水槽与所述水洗段机体一体成型,所述隔板沿液体流动的路径向下朝所述储水槽倾斜,与所述隔板最低端相接的所述水洗段机体侧壁设有连通口与所述储水槽相通。

7.如权利要求4所述的湿制程系统,其特征在于:所述药水喷淋机构与所述立式电机的出水管的连接输液管路上、所述立式泵出水端与所述射流器的射流管的连接输液管路上、以及所述水洗喷淋机构与所述卧式泵的出水口的连接输液管路上均分别设有过滤器。

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