[发明专利]一种集成可变栅电阻栅极结构有效
| 申请号： | 201410271507.0 | 申请日： | 2014-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN104022093A | 公开（公告）日： | 2014-09-03 |
| 发明（设计）人： | 赵佳;张杰;胡爱斌;王海军;吴凯 | 申请（专利权）人： | 江苏中科君芯科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/488 | 分类号： | H01L23/488;H01L23/64 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 刘杰 |
| 地址： | 214135 江苏省无锡市新区菱湖*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 集成 可变 电阻 栅极 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种集成可变栅电阻栅极结构,包括：栅极压焊点和栅极总线；其特征在于，还包括：有效多晶硅电阻以及备用多晶硅电阻；所述栅极总线环绕在所述栅极压焊点外围；所述有效多晶硅电阻连接在所述栅极总线和所述栅极压焊点之间；所述备用多晶硅电阻置于所述栅极总线和所述栅极压焊点之间，与所述栅极总线相连。
2.如权利要求1所述的集成可变栅电阻栅极结构，其特征在于：所述有效多晶硅电阻的数量至少为两个。
3.如权利要求2所述的集成可变栅电阻栅极结构，其特征在于：所述备用多晶硅电阻的数量至少为两个。
4.如权利要求1～3任一项所述集成可变栅电阻栅极结构，其特征在于：所述有效多晶硅电阻和备用多晶硅电阻均为方阻。
5.如权利要求4所述的集成可变栅电阻栅极结构，其特征在于：所述有效多晶硅电阻和备用多晶硅电阻的边长范围为10um～200um。
6.如权利要求1所述的集成可变栅电阻栅极结构，其特征在于，还包括：测试压焊点；所述测试压焊点与所述栅极总线相连。
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