[发明专利]微机电系统（MEMS）结构及设计结构

权利要求书

1.一种方法，包括：

向微机电系统(MEMS)结构的致动器应用第一电压极性，以将所述MEMS结构置于用于第一操作条件的预定状态；以及

在后续操作条件期间向所述MEMS结构的所述致动器应用与所述第一电压极性相反的第二电压极性。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一操作条件是数据的传输。

3.根据权利要求1所述的方法，其中：

在设备的所述第一操作条件的整个时间段期间应用所述第一电压极性；以及

在所述设备的所述后续操作条件的整个时间段期间应用所述第二电压极性。

4.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一电压极性是在第一导通状态期间所应用的致动电压，并且所述第二电压极性是在后续导通状态期间所应用的致动电压。

5.根据权利要求4所述的方法，其中所述第一导通状态和所述后续导通状态与相应的电话呼叫或数据传输相关联。

6.根据权利要求1所述的方法，其中所述第二电压极性使单极操作平衡。

7.根据权利要求1所述的方法，其中在导通状态期间应用所述第一电压极性，并且在关断状态期间应用所述第二电压极性。

8.根据权利要求7所述的方法，还包括在后续导通状态期间应用所述第一电压极性，其中在所述第一操作条件和后续操作条件的整个时间段期间应用所述第一电压极性，并且在所述第一操作条件已经完成之后，应用所述第二电压极性以在关断状态期间基本上对MEMS电容器进行放电。

9.根据权利要求8所述的方法，其中所述应用所述第二电压极性被应用持续预定时间量。

10.根据权利要求9所述的方法，其中所述预定时间量为约1分钟。

11.根据权利要求1所述的方法，其中：

所述第一操作条件包括应用两步电压；以及

所述第二操作条件包括应用另一两步电压。

12.根据权利要求11所述的方法，其中：

所述第一操作条件的所述两步电压的第一电压的绝对值大于第二电压的绝对值；并且

所述第二电压极性的绝对值大于所述第二操作条件的所述另一两步电压的绝对值。

13.一种方法，包括：

向微机电系统(MEMS)结构应用第一电压极性；

在所述MEMS结构的关断状态或后续致动状态期间向MEMS梁应用第二电压极性，其中：

所述第一电压极性与所述第二电压极性相反；

所述第一电压极性将所述MEMS结构置于数据传输模式；

在所述数据传输模式的结尾之后应用所述第二电压极性；以及

所述第二电压极性减小跨所述MEMS结构的电介质充电。

14.根据权利要求13所述的方法，其中在所述MEMS结构的关断状态中应用所述第二电压极性。

15.根据权利要求13所述的方法，其中所述第二电压极性使所述MEMS结构的单极操作平衡。

16.根据权利要求13所述的方法，其中在所述MEMS结构的关断状态期间应用所述第二电压极性持续预定时间量。

17.根据权利要求16所述的方法，其中所述预定时间量为约1分钟。

18.根据权利要求13所述的方法，其中：

所述第一电压极性包括应用两步电压，其中所述两步电压的第一电压的绝对值大于第二电压的绝对值；并且

所述第二电压极性包括应用另一两步电压，其中所述另一两步电压的第一电压的绝对值大于第二电压的绝对值。

19.根据权利要求13所述的方法，其中在致动的整个时间期间应用所述第一电压极性，并且在所述MEMS结构的所述后续致动状态的整个时间期间应用所述第二电压极性。

20.一种在计算机辅助设计系统中用于生成MEMS结构的功能设计模型的方法，所述方法包括：

生成在导通状态和关断状态之间可移动的MEMS梁的功能表示，所述MEMS梁包括在电介质材料内的第一组致动器和电容器极板；以及

生成第二组致动器和另一电容器极板的功能表示，所述第二组致动器和所述另一电容器极板与所述第一组致动器和所述电容器极板由绝缘体层分离，

其中所述表示还包括所述第一组致动器和所述第二组致动器中的至少一组被构造和配置为在导通状态中以第一电压极性提供电荷并且在所述MEMS结构处于后续关断状态之后以第二电压极性提供电荷。