[发明专利]一种套筒靶材石墨绑定技术

权利要求书

1.一种套筒靶材石墨绑定技术，其特征在于，包括如下步骤，

1）不锈钢管绑定：选用不锈钢管作为衬管，外径车圆至一定直径进行绑定； 

2）套筒靶材绑定：将套筒靶材内径车圆至一定直径进行绑定； 

3）在步骤2）所得靶材套筒上包裹加热包，将靶材套筒加热到300度左右；用超声波焊接机把熔化好的金属涂在靶材套筒内壁；

4）将3块厚度为1.5mm石墨纸放在专用平台上，加热石墨纸到300度左右；将熔化好的金属涂在石墨纸上；将铜丝网放到石墨纸上；再将铜丝网的另外一面放到涂了金属的靶材套筒上；加热包降温至金属固化，固定好即可；

5）最后把绑定好石墨纸的靶材旋入步骤1）所得不锈钢管内，石墨纸与不锈钢管3段间隙使用高温导电胶填充。

2.权利要求1所述石墨绑定技术，其特征在于，所述绑定时步骤1）的衬管或步骤2）的靶材与背板之间的结合部无气泡，粘合率大于90%；绑定材料的厚度为2～3mm。

3.权利要求1所述石墨绑定技术，其特征在于，所述靶材是AZO，ITO、NbOx或MoNb。

4.权利要求1所述石墨绑定技术，其特征在于，所述金属是铟、锡或银。

5.权利要求1所述石墨绑定技术，其特征在于，所述铜丝网为两根0.06mm直径的铜丝叠加而成的铜丝网。

6.权利要求1所述石墨绑定技术，其特征在于，所述步骤5）为使用丙酮擦拭不锈钢表面进行除油后，在不锈钢外表面圆周三等分线上均匀涂上一层宽1.5-2cm，厚度2-3cm的高温导电胶；最后把绑定好石墨纸的靶材套入不锈钢管中，其高温导电胶图层刚好位于石墨纸的三段间隙中。

7.权利要求1-6任一所述方法所得到的产品。