[发明专利]一种用于激光器无遮挡镀膜的镀膜架装置

说明书

技术领域

本发明属于半导体技术领域，特别是一种半导体激光器腔面镀膜用的镀膜架。 

背景技术

边发射半导体激光器前后两端的解理面可以形成谐振腔，但是因为两端解理面的反射率相同，两端都有激光输出，但通常情况下，只有一端的输出光能被利用，不仅浪费了激光能量，而且会产生很多的废热和安全隐患。要实现单边高功率输出必须使用腔面镀膜技术改变激光器前后腔面的反射率。边发射半导体激光器bar条的腔面很薄很长，厚度只有100多微米，长度通常为10mm，为了提高镀膜效率和可靠性，需要将激光器bar条彼此之间紧密接触地放入镀膜架中。而在排列激光器bar条的过程中不能损伤激光器腔面，而且要求所有的激光器条的腔面要在同一水平面上，以防止镀膜时各个激光器条之间的相互遮挡。由于半导体的易断裂特性，对镀膜架装置和装镀膜架技术的要求很高，常见的镀膜架装置通常采用分层结构，中间一层框架的开口比上下两层框架的开口要大，使得宽度小于等于中间一层框架开口宽度的激光器条可以在镀膜架中滑动，而下面一层框架供装镀膜架时找齐激光器条的腔面的水平。但其弊端是激光器条的两端均被上下两个框架遮住，镀膜时激光器条的两端完全没有膜料镀上，而且由于上下两个框架在激光器条暴露出的镀膜区域的两侧也有镀膜阴影，会造成激光器腔面两侧的光学膜厚度不一致，这就意味着激光器腔面两端的光学膜反射率与腔面中间不一致，只能将这些部分去除，这样就减少了激光器的可利用面积，提高了激光器的成本。 

在实现本发明的过程中，发明人意识到现有技术存在的缺陷，发明了一种无遮挡镀膜架，可以充分利用激光器芯片的面积，可以提高激光器bar条的数量，降低器件成本。 

发明内容

(一)要解决的技术问题 

现有的腔面镀膜架对激光器腔面两端有遮挡，使得激光器腔面两端与中间光学膜厚度不一致，两端部分只能扔掉，所以装入镀膜架的激光器bar条比实际需要的要长很多，导致制作激光器用芯片的利用率降低，器件成本增高。针对上述技术问题，本发明提出一种无遮挡的镀膜架及其装配附件，由于本发明的镀膜架对激光器bar条的腔面无任何遮挡，且所有激光器bar条的腔面处在同一水平面，避免了激光器bar条两端与中间光学膜厚度不一致现象的发生，同时也避免了不同激光器bar条之间的相互遮挡。可以根据需要来截取镀膜用激光器bar条的长度，提高了芯片的利用率，降低了激光器的成本。 

(二)技术方案 

本发明提出了一种镀膜架，其包括： 

主体，中间薄两端厚，其中一端的端面中间开有两个螺纹孔，另一端表面的上表面开有两个通孔，中间为一具有开口的框架，所述框架的上表面和下表面各有一片金属片相对延伸到矩形方口中间； 

装配附件，其大小与主体相同，中间厚两端薄，第一端上表面开有两个螺纹孔，位置与所述主体的通孔相对应，同螺纹与所述主体固定；所述装配附件中间为两个高、低凸台，所述两个高、低凸台的高度差不小于主体下表面金属片的厚度，高凸台中间开有一细沟； 

滑片，在所述主体的矩形框架方口间移动，且由所述两个金属片上下夹持。 

(三)有益效果 

本发明的镀膜架存在以下几个方面的有益效果：1、由于本发明的镀膜架对激光器腔面不存在任何遮挡，提高芯片的利用率；2、本发明的镀膜架可对任何小于镀膜架矩形方口宽度的激光器进行无遮挡镀膜；3、本发明的镀膜架可用于不同腔长的激光器腔面镀膜，提高了工艺的通用性。 

附图说明

图1是本发明中镀膜架的分解立体示意图； 

图2是本发明中镀膜架组装后的立体示意图； 

图3是本发明中装有bar条的镀膜架使用示意图； 

图4是利用本发明镀膜架对bar条镀膜后的效果示意图。 

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本发明作进一步的详细说明。 

图1示出了本发明提出的一种无遮挡的镀膜架结构示意图。如图1所示，其包括： 

镀膜架主体10，其为中间薄两端厚的结构，其中间为一矩形框架，所述矩形框架中间有一矩形方口17，主体10的一端为顶端中间有两个螺纹孔16的厚台11，主体10的另一端为顶面中间有两个通孔15的厚台12，主体10中间的矩形框架的上表面和下表面各有一延伸到矩形方口的上、下金属片13和14。其中，所述厚台11和厚台12通过斜面过渡到中间的矩形框架，且所述上、下金属片13、14延伸到所述方口的中间。