[发明专利]微机电系统开关

权利要求书

1.一种微机电系统开关，其特征在于，包括：

基底；

微波传输线，所述微波传输线设置在所述基底上；

多通道条形极板，所述多通道条形极板的一端固定设置在所述基底上；

信号功率分配过渡区，所述信号功率分配过渡区与所述多通道条形极板的固定端相连，用于实现对所述多通道条形极板的功率分配；

驱动电极，所述驱动电极设置在所述基底上且位于所述多通道条形极板的正下方，所述驱动电极上电时驱动所述多通道条形极板弯曲以使所述多通道条形极板与所述微波传输线接触而形成通路。

2.根据权利要求1所述的微机电系统开关，其特征在于，所述多通道条形极板由至少三根固定端相连、自由端相互独立的悬臂梁组成。

3.根据权利要求2所述的微机电系统开关，其特征在于，所述悬臂梁在施加驱动电压时与所述微波传输线形成接触点。

4.根据权利要求3所述的微机电系统开关，其特征在于，所述接触点可设置在所述悬臂梁下表面或所述微波传输线上。

5.根据权利要求2所述的微机电系统开关，其特征在于，所述悬臂梁的材料为金属。

6.根据权利要求1所述的微机电系统开关，其特征在于，所述基底的材料为玻璃、陶瓷和高阻硅。

7.根据权利要求1所述的微机电系统开关，其特征在于，所述微波传输线为共面波导或微带线结构。

8.根据权利要求1所述的微机电系统开关，其特征在于，所述驱动电极与所述信号线的边界为直线或突出结构。

9.根据权利要求1所述的微机电系统开关，其特征在于，所述信号功率分配过渡区通过锚点或设置在所述微波传输线上与所述多通道条形极板相连。