[发明专利]时间序列形式的传感数据的不良图案检验方法及其装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种时间序列形式的传感(sensing)数据的不良图案检验方法及其装置。更详细地，通过计算出能够适用于由规定设备中具备的规定传感器所测量及生成的时间序列形式的传感数据的不良图案的错误率来检验所述不良图案的方法及其装置。

背景技术

在制品生产中，制品的品质维持和实现成品率(yield)非常重要。因此，为了提高优质制品的生产成品率，需要早期发现并诊断工序进行或设备的异常情况。为此，介绍以下方法：监测工序的状态来发现有可能产生的异常并区分异常类型的FDC(故障检测与分类，Fault Detection&Classification)。

专利文献：美国公开专利第2010-00268501号

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种能够检验时间序列形式的传感数据不良图案的装置及方法。

本发明所要解决的另一技术问题是提供一种将规定的不良图案和在各产品的生产中以时间序列形式产生的传感数据进行比较，并通过计算所述不良图案的错误率来检验所述不良图案的可靠度的方法及装置。

本发明所要解决的又一技术问题是提供一种对制品生产过程中所产生的以时间序列形式测量的传感数据适用与专业化的不良图案的相似度计算方法的不良图案检验方法及其装置。

本发明所要解决的又一技术问题是提供一种以产品的不良判断比率为基础计算所述不良图案的错误率的不良图案检验方法及其装置，其中，该产品具有被判断成与不良图案相似的以时间序列形式测量的传感数据。

本发明所要解决的又一技术问题是提供一种用于判断是否产生异常的设备及其是否产生异常的判断方法，该设备及方法将规定的不良图案和由内部具备的传感器测量的时间序列形式的传感数据的相似度进行比较，从而判断是否产生异常。

本发明所要解决的又一技术问题是提供一种在具备一个以上的传感器的生产设备中，实时判断从所述传感器生成的时间序列形式的传感数据与已指定的不良图案之间的相似与否，并且根据所述判断结果生成警告信号的生产设备。

本发明所要解决的又一技术问题是提供一种在具备一个以上的传感器的生产设备中，实时判断从所述传感器以时间序列形式测量的传感数据与已指定的不良图案之间的相似与否，并且根据所述判断结果生成警告信号的生产设备及生产设备的传感器测量值监测方法。

本发明所要解决的又一技术问题是提供一种获得从具备一个以上的传感器的生产设备测量的时间序列形式的传感数据，实时判断所述接收的时间序列形式的传感数据与已指定的不良图案之间的相似与否，并且根据所述判断结果生成警告信号的不良图案探测装置及其方法。

本发明的技术问题并不限定于上述所涉及的技术问题，本领域技术人员从下述的记载能明确理解本发明没有提及到的其他技术问题。

为了实现上述技术问题，本发明的一实施方式(aspect)的传感器测量值时间序列数据的不良图案检验方法包括以下步骤：获得适用于由可疑传感器测量的时间序列形式的传感数据的不良图案信息；访问(access)在检验对象期间由所述可疑传感器生成的各产品的制造时所测量的时间序列性的传感数据；按各产品计算根据所述不良图案信息的不良图案与所述时间序列形式的传感数据之间的相似度；以及基于所述相似度计算所述不良图案的错误率。

根据一实施例，按各产品计算根据所述不良图案信息的不良图案与所述时间序列形式的传感数据之间的相似度的步骤可包括：将所述各产品的时间序列形式的传感数据的时间轴分割成规定个数W的区间，按已分割的各区间计算传感数据代表值，并且存储计算出的传感数据代表值；利用已存储的传感数据代表值的均值及方差对所述已存储的传感数据代表值进行归一化；对各个经归一化的传感数据代表值赋予按区间分配的符号，将所述各产品的测量值时间序列数据变换成符号数组(symbol array)；以及按各产品计算所述不良图案信息的符号数组与所述各产品的符号数组之间的相似度。

根据一实施例，按各产品计算所述不良图案信息的符号数组与所述各产品的符号数组的相似度的步骤可包括：相对于所述不良图案信息的所述符号数组和所述各产品的符号数组计算表示从之前区间的符号值是否增加/减少的符号增减索引数组；以及按各产品计算所述不良图案信息的所述符号增减索引数组与所述各产品的符号增减索引数组的相似度。