[发明专利]用于等离子体光源的微波谐振腔

权利要求书

1.用于等离子体光源的微波谐振腔，其特征在于：包括有圆形陶瓷底座、圆形陶瓷盖盘，其中：

所述圆形陶瓷底座顶部中间位置竖向垂直连接有方形立柱，方形立柱顶部切割成型有半圆形凹槽，且半圆形凹槽的中心轴线与方形立柱其中一侧侧面平行，半圆形凹槽的中心轴线一端对应方向的圆形陶瓷底座侧面开有盲孔，且盲孔中心轴线与半圆形凹槽中心轴线平行，圆形陶瓷底座内沿盲孔中心轴线方向还设置有通孔，所述通孔直径小于盲孔直径，通孔一端连通至盲孔，通孔另一端设置在半圆形凹槽的中心轴线另一端对应方向的圆形陶瓷底座侧面，所述圆形陶瓷底座的底面、除盲孔周围圆环形区域外的圆形陶瓷底座侧面分别附着有金属导体薄层，对应于半圆形凹槽的中心轴线两端方向的圆形陶瓷底座顶部分别附着有金属导体带薄层，每个金属导体带薄层的外端分别在圆形陶瓷底座对应方向的边沿处与金属导体薄层连接，每个金属导体带薄层内端分别附着于方形立柱对应方向的侧面并沿方形立柱对应方向的侧面向上延伸后，再进入方形立柱顶部半圆形凹槽内并附着于方形立柱顶部半圆形凹槽槽底后延伸一段距离，由两金属导体带薄层内端之间夹持的方形立柱顶部半圆形凹槽槽底形成不导电细缝，每个金属导体带薄层内端中间位置分别成型有凸起，且凸起附着于不导电细缝上；

所述圆形陶瓷盖盘顶部中间位置设置有半圆形凹槽，圆形陶瓷盖盘顶部半圆形凹槽最大宽度等于所述方形立柱垂直于方形立柱顶部半圆形凹槽中心轴线的侧面的宽度，圆形陶瓷盖盘顶部半圆形凹槽直径等于所述方形立柱顶部半圆形凹槽直径，半圆形凹槽槽底中间位置向圆形陶瓷盖盘中竖向设置有中空区域，中空区域的形状与圆形陶瓷底座顶部方形立柱形状匹配，且中空区域位于圆形陶瓷盖盘顶部半圆形凹槽槽底的端面将半圆形凹槽槽底分隔为两个凹槽，圆形陶瓷盖盘顶部对应于半圆形凹槽位于中心轴线两端方向分别开有小半圆形凹槽，两小半圆形凹槽一端分别与圆形陶瓷盖盘顶部半圆形凹槽两端连通，两小半圆凹槽另一端分别设置在圆形陶瓷盖盘顶部边沿处，所述圆形陶瓷盖盘顶部的半圆形凹槽槽面附着有薄釉，圆形陶瓷盖板顶部位于平行于半圆形凹槽中心轴线方向的两侧分别附着有形成矩形区域的薄釉，圆形陶瓷盖盘顶部其他位置、圆形陶瓷盖盘侧面分别附着有金属导体薄层；

所述方形立柱顶部半圆形凹槽中放置有无极石英灯泡或者陶瓷灯泡，圆形陶瓷盖盘倒盖在圆形陶瓷底座顶部，且圆形陶瓷底座顶部的方形立柱插入圆形陶瓷盖盘的中空区域中。

2.根据权利要求1所述的用于等离子体光源的微波谐振腔，其特征在于：所述金属导体带薄层位于圆形陶瓷底座顶部的部分设置为直线形、或曲线形、或折线形、或圆弧线形。

3.根据权利要求1所述的用于等离子体光源的微波谐振腔，其特征在于：所述方形立柱顶部半圆形凹槽中的金属导体带薄层、不导电细缝上分别附着有薄釉。

4.根据权利要求1所述的用于等离子体光源的微波谐振腔，其特征在于：所述圆形陶瓷盖盘高度大于或等于方形立柱高度。

5.根据权利要求1所述的用于等离子体光源的微波谐振腔，其特征在于：所述圆形陶瓷底座、圆形陶瓷盖盘的材料可选用氧化铝材料，或者氮化铝材料，或者氧化铍材料，或者其他不导电的电子陶瓷介质材料，优选氧化铝材料。

6.根据权利要求1所述的用于等离子体光源的微波谐振腔，其特征在于：所述圆形陶瓷底座、圆形陶瓷盖盘上附着的金属导体薄层，以及圆形陶瓷底座、方形立柱上的金属导体带薄层分别可选用银材料，或者铜材料，或者其他高导电率金属。

7.根据权利要求1所述的用于等离子体光源的微波谐振腔，其特征在于：所述金属导体薄层、金属导体带薄层分别可采用电镀，或者丝网印刷，或者真空溅射方式附着于相应位置。