[发明专利]基板检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及在基板上形成的多个布线图案彼此的绝缘检查，尤其涉及准确地检测在绝缘检查时发生的布线图案间的火花(spark)现象的基板检查装置。

背景技术

在基板上形成的布线图案用于针对载置于上述基板的IC、半导体部件或其他电子部件收发电信号。这种布线图案可以依据上述的基板的用途而形成为各种各样。因此，实施了可以确认布线图案正确且以良好状态形成的电性检查。

对于这种布线图案的检查，通常实施导通检查与绝缘检查。导通检查是确认布线图案将规定的二点间电连接的检查，绝缘检查是确认布线图案彼此呈未短路的状态的检查。

尤其在绝缘检查中，为检查布线图案彼此的绝缘性，向布线图案间施加规定的电压，计算布线图案间的电阻值，据此来检查布线图案间的绝缘性。

在这种绝缘检查中，为了如上述那样计算布线图案间的电阻值，为使布线图案间产生电位差而供给电力，但在布线图案本身存在细、粗的差异、或存在铜粉等异物的情况下，有时在测量布线图案间的电阻值前，会发生从一方的布线图案向另一方的布线图案的电荷放电(火花现象)的情况。这种火花现象已知为布线图案间的不良。

为了检测这种火花现象不良，已知有例如专利文献1的技术。上述的专利文献1所公开的技术如下：从开始施加电压至实施检查测量的规定的定时(timing)为止检测布线图案间的电压，并且检测有无发生起因于火花现象的电压降落，据此来捕捉火花现象。

另一方面，近年来基板被制造得极小且复杂。因此，布线图案本身也形成得复杂且微细，并且其间距也形成得窄。另外，由于布线图案如此复杂且微细地形成，因此在布线图案上设定的检查点也会增加。因此，基板检查装置存在随着检查点的增加，将基板与基板检查装置电连接的基板检查夹具等的寄生电容增大的问题。

如上所述，随着基板的布线图案的复杂化与微细化的进展，对上述的基板的绝缘检查的精度的要求也随之提高。在这种情况下，为了进行布线图案间的绝缘检查，布线图案间的火花现象也成为问题。

然而，在专利文献1公开的技术中，布线图案间的电压变为规定的电压为止的从开始施加电压至达到检查电压为止的期间的火花检查可以毫无问题地进行检测，但是存在无法可靠且准确地捕捉从布线图案间的电压到达检查电压开始到成为规定的检查定时为止的期间(电压为稳定状态的情况)的布线图案间的火花现象的问题。

这会产生下列问题，即伴随着基板的布线图案复杂化且微细化，发生火花现象的电压降落小的情况，在如此小的电压降落下，无法准确地判定是因火花现象导致的电压降落，还是因其他要因导致的电压降落。

(现有技术文献)

(专利文献)

专利文献1：日本特开2003-172757号公报

发明内容

(发明要解决的问题)

本发明鉴于上述情况而提出，其目的在于提供一种基板检查装置，即使在实施经微细化及复杂化的基板的布线图案的绝缘检查的情况下，也可以准确地检测布线图案间的火花现象。

(解决问题的措施)

第一方面的发明提供一种执行形成在基板上的多个布线图案间的绝缘检查的基板检查装置，其特征在于，上述基板检查装置具备：选出单元，从上述多个布线图案中选出作为检查对象的一个布线图案作为第一检查部，并且选出上述第一检查部以外的作为检查对象的所有布线图案作为第二检查部；电源单元，为了对上述第一检查部与上述第二检查部之间设定规定的电位差，与上述第二检查部连接并且对上述第二检查部施加电压；检测单元，检测上述第一检查部与上述第二检查部之间的电压；以及判定单元，在上述检测单元所检测的电压发生电压降落的情况下，判定为上述第一检查部与上述第二检查部存在不良，上述选出单元具备使导通状态为导通/切断(ON/OFF)的切换部和与上述切换部串联连接的电压降落部，上述检测单元的一端与上述第一检查部和上述电压降落部间导通连接。

(发明的效果)

根据第一方面的发明，对第一检查部与第二检查部之间(检查对象间)设定规定的电位差，并且设置对第一检查部与第二检查部之间的电压进行检测的检测单元，据此，在发生了检测单元所检测出的电压降落的情况下，可以检测出在检查对象间发生了火花现象。特别是，上述检测单元的一端与第一检查部和电压降落部间导通连接，因此在发生了火花现象时流过的电流会经由上述电压降落部而在检查对象间流动。也就是说，在上述电压降落部的两端会发生电压降落，并且检测单元可以可靠地检测出上述的电压降落。因此，不需要延长检查时间就可以可靠地捕捉到火花现象。