[发明专利]撑杆装置和具有撑杆装置的基板承载装置

权利要求书

1.一种撑杆装置，其特征在于，其包括：

支撑杆，包括相对的第一端部和第二端部，该第一端部具有第一端面，该第一端面设有安装槽；

支撑套,沿该支撑杆的轴心线可滑动的套设于该支撑杆的该第一端部，并具有与该第一端面相对的支撑部，该支撑部设有通孔；

支撑滚珠，设置于该支撑杆的该安装槽，并部分地露出于该第一端面且对齐该通孔；以及

弹性元件，该弹性元件连接该支撑杆和该支撑套。

2.如权利要求1所述的撑杆装置，其特征在于：该支撑杆的靠近该第一端部的外表面开设有围绕该支撑杆的该轴心线的至少一个环形凹槽，该撑杆装置还包括多个滑动滚珠，该多个滑动滚珠设置于该至少一个环形凹槽中并与该支撑套的内壁接触。

3.如权利要求2所述的撑杆装置，其特征在于：该至少一个环形凹槽包括围绕该支撑杆的该轴心线的多个环形凹槽，该多个环形凹槽沿该支撑杆的该轴心线平行排列。

4.如权利要求3所述的撑杆装置，其特征在于：该多个环形凹槽沿该支撑杆的该轴心线等间距排列。

5.如权利要求1所述的撑杆装置，其特征在于：该支撑套的外表面设置有第一连接部，该支撑杆靠近该第二端部的外表面设置有第二连接部，该弹性元件连接在该第一连接部和该第二连接部之间。

6.如权利要求5所述的撑杆装置，其特征在于：该弹性元件包括第一弹性件和第二弹性件，该第一弹性件和该第二弹性件分别连接在该第一连接部和该第二连接部之间，并沿该支撑杆的该轴心线对称的设于该支撑杆的两侧。

7.如权利要求6所述的撑杆装置，其特征在于：该第一连接部是垂直连接于该支撑套的该外表面的支撑板，该第二连接部是垂直连接于该支撑杆靠近该第二端部的该外表面的支撑板。

8.如权利要求6所述的撑杆装置，其特征在于：该第一弹性件和第二弹性件均是弹簧。

9.一种基板承载装置，包括承载平台，其特征在于：该基板承载装置还包括如权利要求1～8任一项所述的撑杆装置，该撑杆装置的该支撑杆的该第二端部连接于该承载平台。

10.如权利要求9所述的基板承载装置，其特征在于：该承载平台具有工作面，该支撑杆垂直连接于该承载平台的该工作面。