[发明专利]一种监控系统及方法

说明书

技术领域

本申请涉及电子技术领域，特别涉及一种监控系统及方法。

背景技术

随着半导体的广泛应用，制造厂商大量生产各种半导体器件，在半导体器件生产过程中需要对晶片贴膜，因此也出现了有各种型号的贴膜机。贴膜机将各种蓝膜或UV膜贴在晶片表面，以在生产过程中保护晶片。

目前，由于贴膜机的型号有多种，膜的型号也各异，针对同一个贴膜机不一定能适用于每种膜，如果贴膜机不能很好的与当前型号的膜相匹配，在贴膜过程中就可能会出现断膜的情况，比如，型号为ATM-1000C的贴膜机在贴三井化学SB-085L-BN20-R2这种型号的蓝膜时，在废膜端极容易出现断膜，虽然可采取调节刀片的下刀位置，减小拉废膜的力度，在载片台上贴一层蓝膜等应对措施，但不能从根本上消除贴此种蓝膜断膜的情况，除非换另外型号的蓝膜，但换蓝膜的型号又涉及到半导体器件的工艺以及使用成本的问题，所以在实际生产中，换膜的型号可实现性不高。

因此，现有阶段贴膜机在贴膜过程中仍然可能会出现断膜的情况，在断膜后，如果机台继续工作就会引起晶片破掉，可见，现有贴膜机存在不能检测是否出现断膜而导致晶片破掉的技术问题。

发明内容

本申请实施例通过提供一种监控系统及方法，用以解决现有贴膜机存在的不能检测是否出现断膜而导致晶片破掉的技术问题。

一方面，本申请实施例提供一种监控系统，包括：第一检测装置，设置在一贴膜机的拉膜装置上以及拉膜装置的运动方向上要经过的地方，用于检测获得用于表征所述拉膜装置在拉膜起点位置的第一光耦信号，以及用于表征在所述拉膜装置的终点位置的第二光耦信号；第二检测装置，用于检测获得用于表征所述拉膜装置在从所述起点位置至所述终点位置进行拉膜过程中的第一检测信号；控制单元，与所述第一检测装置及所述第二检测装置连接，用于接收并基于所述第一光耦信号和/或所述第二光耦信号，以及所述第一检测信号生成并输出第一控制信号，以控制所述贴膜机处于停止状态。

可选的，所述第一检测装置，具体包括：第一发光单元，设置在所述拉膜装置的运动方向上要经过的地方，用于发射第一光线；第一接收单元，设置在所述拉膜装置的运动方向上要经过的地方，与所述第一发光单元相对应，用于接收所述第一光线；第二发光单元，设置在所述拉膜装置的运动方向上要经过的地方，用于发射第二光线；第二接收单元，设置在所述拉膜装置的运动方向上要经过的地方，与所述第二发光单元相对应，用于接收所述第二光线；挡块，设置在所述拉膜装置上，随着拉膜装置运动；其中，当所述挡块运动到第一发光单元与所述第一接收单元之间时，所述第一接收单元不能接收到所述第一光线，则获得的所述第一光耦信号为ON信号；当挡块不在所述第一发光单元与所述第一接收单元之间，所述第一接收单元能接收到所述第一光线，则获得的所述第一光耦信号为OFF信号；当所述挡块运动到所述第二发光单元与所述第二接收单元之间，所述第二接收单元不能接收到所述第二光线，则获得的所述第二光耦信号为ON信号；当所述挡块不在所述第二发光单元与所述第二接收单元之间，所述第二接收单元能接收到所述第二光线，则获得的所述第二光耦信号为OFF信号。

可选的，所述第二检测装置，具体包括：发射接收单元，设置所述拉膜装置的运动方向上的膜易断的位置上方，此处所述拉膜装置不会经过，用于向下发射第三光线；反光单元，设置在所述拉膜装置的运动方向上的膜易断的位置下方，此处所述拉膜装置不会经过，与所述发射接收单元相对应，用于反射所述第三光线，以使所述发射接收单元接收到所述第三光线；其中，当所述发射接收单元接收到所述第三光线时，则表明所述发射接收单元与所述反光单元之间没有膜经过，则获得的所述第一检测信号为ON信号；当所述发射接收单元接收不到所述第三光线时，则表明所述发射接收单元与所述反光单元之间有膜经过，则获得的所述第一检测信号为OFF信号。

可选的，当所述拉膜装置处于所述起点位置时，所述控制单元，具体用于：基于所述第一光耦信号以及所述第一检测信号生成并输出第一控制信号，以控制所述贴膜机处于停止状态。

可选的，当所述拉膜装置离开所述起点位置后，在向所述终点位置移动的一预设时间段内，所述控制单元不响应所述第一光耦信号和/或所述第二光耦信号，以及所述第一检测信号。

可选的，当经过所述预设时间段后，在所述拉膜装置继续向所述终点位置移动的过程中，所述控制单元，具体用于：基于所述第一光耦信号和所述第二光耦信号，以及所述第一检测信号，生成并输出第一控制信号，以控制所述贴膜机处于停止状态。