[发明专利]一种用于加速惰性硅化合物生长在衬底表面上的化学组合物

权利要求书

1.一种用于加速惰性硅化合物薄膜生长在衬底表面上的化学组合物，其特征在于：包括以下重量百分数的组分：氟硅酸或氟硅酸盐类化合物0.1-25％，氨基酸类化合物0.1-15％，铵类化合物0.05-15％，无机酸0.001-30％，有机酸0.001-30％，表面活性剂0.001-0.05％，核心添加剂0.01-10％，余量为水。

2.根据权利要求1所述的一种用于加速惰性硅化合物薄膜生长在衬底表面上的化学组合物，其特征在于：包括以下重量百分数的组分：氟硅酸或氟硅酸盐类化合物2-10％，氨基酸类化合物0.1-15％，铵类化合物0.5-15％，无机酸1-20％，有机酸1-20％，表面活性剂0.001-0.05％，核心添加剂0.1-5％，余量为水。

3.根据权利要求1所述的一种用于加速惰性硅化合物薄膜生长在衬底表面上的化学组合物，其特征在于：包括以下重量百分数的组分：氟硅酸或氟硅酸盐类化合物5-8％，氨基酸类化合物4-8％，铵类化合物2-10％，无机酸5-10％，有机酸5-10％，表面活性剂0.02-0.04％，核心添加剂1-3％，余量为水。

4.根据权利要求1所述的一种用于加速惰性硅化合物薄膜生长在衬底表面上的化学组合物，其特征在于：所述氟硅酸或氟硅酸盐类化合物选自氟硅酸和氟硅酸铵中的一种或两种。

5.根据权利要求1所述的一种用于加速惰性硅化合物薄膜生长在衬底表面上的化学组合物，其特征在于：所述氨基酸类化合物选自甘氨酸、丝氨酸、苏氨酸、天冬氨酸、谷氨酰胺、赖氨酸、精氨酸和组氨酸中的一种或两种。

6.根据权利要求1所述的一种用于加速惰性硅化合物薄膜生长在衬底表面上的化学组合物，其特征在于：所述铵类化合物选自氢氧化铵、二甲基乙基-2-羟乙基氢氧化铵、氟化铵、三甲基-3-羟丁基氢氧化铵、三甲基-3-羟丙基氢氧化铵、三丁基2-羟基乙基氢氧化铵和氟化四甲基铵和EDTA-二铵盐中的一种或几种。

7.根据权利要求1所述的一种用于加速惰性硅化合物薄膜生长在衬底表面上的化学组合物，其特征在于：所述无机酸选自碲酸、锇酸、铼酸、铬酸、硅酸、钴酸、钒酸、磷酸、硫酸、氯酸、锰酸、钼酸、镍酸、硼酸、铅酸、砷酸、钛酸、碳酸、锑酸、铁酸、钨酸、硝酸、硒酸、锡酸、锌酸、溴酸、氙酸、锗酸、原硅酸、原磷酸、原硫酸、原碳酸、硅酸、偏硼酸、偏钛酸、偏铁酸、偏磷酸、偏亚砷酸、偏亚磷酸、偏铝酸、偏钒酸、偏高碘酸、亚碲酸、碘酸、亚硫酸、亚磷酸、亚氯酸、亚铬酸亚铅酸、亚砷酸、亚硝酸、亚硒酸、亚锡酸、亚铁酸、亚锑酸、次氟酸、次碘酸、次氯酸、次溴酸、次磷酸、次硫酸、高铼酸、高氯酸、高锰酸、高铁酸、高碘酸、高溴酸、高氙酸、连多硫酸、连二亚硫酸、连四硫酸、连二磷酸、过酸、过一硫酸、过二硫酸、过二碳酸、过硼酸、过碳酸、同多酸、二钼酸、三钼酸、七钼酸、八钼酸、十二钼酸、十二钨酸、二钒酸、三钒酸、四钒酸、五钒酸、十钒酸、重铬酸、三铬酸、四铬酸、四硼酸、二偏硅酸、三硅酸、焦硅酸、焦磷酸、三磷酸、焦亚磷酸、焦硫酸、焦亚硫酸、焦砷酸、焦亚砷酸、焦高碘酸、磷钼酸、磷钨酸、十二钼硅酸、十二钨硼酸、过硫代碳酸、硫代硫酸、硫代碳酸、氯磺酸、氟磺酸、单氟磷酸、氢碘酸、氢叠氮酸、氢碲酸、氢氟酸、氢硒酸、氢硫酸、氢氯酸、氢溴酸、硫氰酸、硒氰酸、氰酸、异氰酸、雷酸、二氯合铜、四羟基合铝(Ⅲ)酸、四羟基合铜(Ⅱ)酸、六羟基合铁(Ⅲ)酸、氟硼酸、氟硅酸、氟钛酸、氟锑酸、氟磷酸、氟铂酸、氟铅酸、氯金酸、氯铂酸、氯亚铂酸、氯铅酸、过氧酸、超氧酸，臭氧酸、氟锑磺酸、碳硼烷酸、偏铝酸、四羟基合铝(Ⅲ)酸、偏亚砷酸、亚砷酸、焦砷酸、氯金酸、硼酸、偏硼酸、四硼酸、氟硼酸、过硼酸、十二钨硼酸、碳硼烷酸、溴酸、亚溴酸、次溴酸、高溴酸、氢溴酸、碳酸、原碳酸、过硫代碳酸、硫代碳酸、过二碳酸、高氯酸、高氯酸、过碳酸、氢氟酸、硝酸、亚硝酸、氢叠氮酸、镍酸、铅酸、亚铅酸、氟铅酸、氯铅酸、氟铂酸、氯铂酸、氯亚铂酸、铼酸、硫酸、亚硫酸、氢硫酸、硫代硫酸、焦硫酸、次硫酸、连多硫酸、原硫酸、连二亚硫酸、过一硫酸、过二硫酸、氯磺酸、氟磺酸、锑酸、亚锑酸、氟锑酸、氟锑磺酸、硒酸、亚硒酸、氢硒酸、硅酸、氟硅酸、焦硅酸、锡酸、亚锡酸、碲酸、氢碲酸、亚碲酸、钛酸、偏钛酸、氟钛酸、钒酸、偏钒酸、二钒酸、三钒酸、四钒酸、五钒酸、十钒酸、钨酸、十二钨酸、磷钨酸、十二钨硼酸、氙酸、高氙酸、锌酸的一种或几种。