[发明专利]电热管气相沉积装置

权利要求书

1.电热管气相沉积装置，包括高温炉(1)，其特征在于：所述高温炉的前侧设有回转机构(2)，所述回转机构包括转筒(201)、连接转筒的转轴(202)以及连接转轴的电机(203)，所述高温炉的前侧面设有通孔(101)，所述转筒穿过通孔伸入高温炉加热腔中，所述转筒包括筒体(201a)和设置于筒体端面的若干根固定杆(201b)，所述固定杆上穿设石英玻璃管，所述高温炉左侧设有曲柄滑块机构(3)，所述曲柄滑块机构连接高压喷枪(4)，所述高压喷枪上的进液口通过软管连接储液瓶(5)，所述高压喷枪上的进气口通过软管连接高压气泵(6)，所述高温炉的左侧面上设有缺口(102)，所述高压喷枪的喷雾口穿过缺口伸入高温炉加热腔中且曲柄滑块机构驱动高压喷枪使喷雾口在缺口内做直线往复运动。

2.根据权利要求1所述的电热管气相沉积装置，其特征在于：所述电机(203)固定于支杆(204)上端，所述支杆下端滑动连接于滑轨(205)上。

3.根据权利要求2所述的电热管气相沉积装置，其特征在于：所述固定杆(201b)周向分布于筒体(201a)的端面且固定杆的头端设有耐热橡胶帽。

4.根据权利要求3所述的电热管气相沉积装置，其特征在于：所述曲柄滑块机构(3)包括滑块(301)，所述滑块上设有两块弹性片(301a)，所述高压喷枪(4)底座嵌入两块弹性片之间的间隙中。

5.根据权利要求1所述的电热管气相沉积装置，其特征在于：所述高温炉(1)上端设有贯通高温炉加热腔的出气管(104)，所述出气管与高温炉的连接端设有离心风机(104a)。

6.根据权利要求1所述的电热管气相沉积装置，其特征在于：所述高压喷枪(4)与高压气泵(6)之间的软管上设有气压表(601)。