[发明专利]微小自聚焦透镜聚焦光斑质量检测方法

权利要求书

1.一种微小自聚焦透镜聚焦光斑质量检测装置，包括光源（101）、光纤跳线（102）、五维调整架（103）、微小自聚焦透镜夹具（104）、显微系统（105）、光束分析仪（106）和计算机（107），其特征在于，微小自聚焦透镜（108）装夹在所述微小自聚焦透镜夹具（104）上，微小自聚焦透镜（108）靠近光源（101）一端通过光纤跳线（102）与光源（101）连接；所述微小自聚焦透镜夹具（104）置于五维调整架（103）上；所述显微系统（105）和光束分析仪（106）通过螺纹连接，所述显微系统（105）的中心轴线与光束分析仪（106）的中心轴线重合；所述光束分析仪（106）与计算机（107）通过USB接口数据线连接。

2.一种微小自聚焦透镜聚焦光斑质量检测方法，其特征在于，具体实施步骤为：

（1）运行计算机（107）和光束分析仪（106），将光源（101）的输出光束依次经过光纤跳线（102）、微小自聚焦透镜（108）、显微系统（105）后传输到光束分析仪（106），光束分析仪（106）探测到的光束的形心位置和光斑大小在计算机（107）中显示并记录；

（2）调整五维调整架（103），将微小自聚焦透镜（108）的中心轴线与显微系统（105）的中心轴线重合，即将光束通过微小自聚焦透镜（108）后对心垂直入射到显微系统（105）的入射面和光束分析仪（106）的探测面；其中对心指光斑中心和显微系统（105）的入射面的中心以及光束分析仪（106）的探测面的中心重合；

（3）调节五维调整架（103）的移动旋钮，改变微小自聚焦透镜（108）轴向方向的位置，在计算机（107）中显示并记录移动后待测位置的光斑的形心位置和光斑大小；

（4）测出光束通过微小自聚焦透镜（108）后的最小光斑大小及其位置，测出的最小光斑的大小即为微小自聚焦透镜（108）的聚焦光斑大小，最小光斑位置与微小自聚焦透镜（108）的相对距离即为微小自聚焦透镜（108）的焦距。

3.根据权利要求2所述的微小自聚焦透镜聚焦光斑质量检测方法，其特征在于，所述步骤（2）中将通过微小自聚焦透镜（108）的光束对心垂直入射到显微系统（105）的入射面以及光束分析仪（106）的探测面，具体实施步骤为：

（1）调节五维调整架（103）的X向移动旋钮（201）和Y向移动旋钮（202），使计算机（107）中显示并记录的形心坐标X、Y的数值近似为0；

（2）右旋五维调整架（103）的Z向移动旋钮（203），使微小自聚焦透镜（108）在轴向方向上与显微系统（105）的入射面的相对距离减小dz；

（3）根据计算机（107）中显示的形心坐标X、Y的数值变化，判断微小自聚焦透镜（108）的中心轴线相对显微系统（105）的中心轴线的偏转情况；

（4）根据微小自聚焦透镜（108）的偏转情况，调节五维调整架（103）的X向旋转旋钮（204）、X向移动旋钮（201）、Y向旋转旋钮（205）和Y向移动旋钮（202），使形心坐标X、Y的数值近似为0，将微小自聚焦透镜（108）的中心轴线向对心垂直入射到显微系统（105）的入射面的方向调节；

（5）右旋五维调整架（103）的Z向移动旋钮（203），使微小自聚焦透镜（108）在轴向方向上与显微系统（105）的入射面的相对距离减小dz；

（6）观察在计算机（107）中显示形心坐标X、Y的数值是否近似为0；

（7）若形心坐标X、Y的数值近似为0，表明通过微小自聚焦透镜（108）的光束对心垂直入射到显微系统（105）的入射面以及光束分析仪（106）的探测面；若形心坐标X、Y的数值不为0，且变化较大，重复步骤（1）-步骤（6）的操作。