[发明专利]一种利用微滴喷射技术制作微纳光栅的方法

权利要求书

1.一种利用微滴喷射技术制作微纳光栅的方法，其特征在于，包括以下的步骤：

1）微纳光栅器件材料的悬浮液的制备：首先选择透光性差的材料，对其进行充分研磨，取1~2g得到的纳米粉末溶入50~150ml的溶剂中，然后添加分散剂，再对溶液进行超声和离心处理，取超声、离心处理后悬浮液的上清液，得到均匀混合的掺杂溶液；向掺杂溶液中加入去离子水调整溶液的粘度，去离子水与溶剂的体积比为1:1.5~1:3，得到用于微滴喷射仪喷打的悬浮液；

2）选择合适的基底，并通过腐蚀或生长种子层法对其进行预处理；

3）利用微滴喷射仪喷打：根据步骤1）所配制的悬浮液的表面张力、粘度、pH值特性，调整微滴喷射仪的喷打电压、频率、点间距参数，在基底上进行微滴喷射或喷墨打印，制作微纳光栅。

2.根据权利要求1所述的利用微滴喷射技术制作微纳光栅的方法，其特征在于，所述步骤1）中透光性差的材料为聚对苯二甲酸乙二醇酯。

3.根据权利要求1所述的利用微滴喷射技术制作微纳光栅的方法，其特征在于，所述步骤1）中的溶剂为乙醇或丙酮。

4.根据权利要求1所述的利用微滴喷射技术制作微纳光栅的方法，其特征在于，所述步骤1）中的分散剂为聚乙二醇，分散剂与溶剂的体积比例为1:1~1:3。

5.根据权利要求1所述的利用微滴喷射技术制作微纳光栅的方法，其特征在于，所述步骤1）中的粘度为20~2000mPas，pH值为6~8。

6.根据权利要求1所述的利用微滴喷射技术制作微纳光栅的方法，其特征在于，所述步骤2）中，生长种子层法为电化学沉积或磁控溅射法。

7.根据权利要求1所述的利用微滴喷射技术制作微纳光栅的方法，其特征在于，所述步骤2）中的基底为硅片、玻璃片、金属片、有机大分子片或聚合物片。

8.根据权利要求1所述的利用微滴喷射技术制作微纳光栅的方法，其特征在于，所述步骤3）中的微滴喷射仪的喷打电压为75~85V、频率为90~110Hz、点间距为0.02~0.05微米。