[发明专利]大口径衍射光栅的夹持装置及夹持方法有效
申请号: | 201410247074.5 | 申请日: | 2014-06-05 |
公开(公告)号: | CN104062735B | 公开(公告)日: | 2017-01-04 |
发明(设计)人: | 张磊;郑小霞;孙策;达争尚 | 申请(专利权)人: | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
主分类号: | G02B7/00 | 分类号: | G02B7/00 |
代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司61211 | 代理人: | 姚敏杰 |
地址: | 710119 陕西省西*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 口径 衍射 光栅 夹持 装置 方法 | ||
技术领域
本发明属于光学元件装调技术领域,涉及一种夹持工装及基于该工装的夹持方法,尤其涉及一种大口径衍射光栅的夹持装置及夹持方法。
背景技术
作为精密诊断衍射光栅各项主要参数的关键装置,存在测试口径大(被测元件口径大于430mm×430mm)、数量多(百件量级),测量精度要求高的问题。常用的夹持方法是通过定位压板和顶丝来固定元件,更换元件时需要拆卸压板和松动全部顶丝,费时费力,并且也很难精确的将元件定位在镜框的中心位置;固定的压板在与元件接触时常常会因为加工或装配偏差导致面-面接触实际上变成了线-面接触,这样产生的局部应力就直接影响到元件面形。
发明内容
为了解决背景技术中存在的上述技术问题,本发明提供了一种可迅速装调以及精度高的大口径衍射光栅的夹持装置及夹持方法。
本发明的技术解决方案是:本发明提供了一种大口径衍射光栅的夹持装置,其特殊之处在于:所述大口径衍射光栅的夹持装置包括镜框、设置在镜框边缘的主定位板以及分别设置在镜框四角的四个压紧臂组;待夹持大口径衍射光栅置于镜框中并止靠在主定位板上;所述压紧臂组压制待夹持大口径衍射光栅并与镜框相连。
上述压紧臂组包括压紧臂以及用于压制待夹持大口径衍射光栅的挤压装置;所述压紧臂上设置有用于与镜框固定连接的螺纹孔以及用于挤压装置穿过的通孔;所述压紧臂通过设置在螺纹孔中的螺纹与镜框相连;所述挤压装置伸入通孔中并止靠在待夹持大口径衍射光栅上。
上述挤压装置包括球头螺杆、压块以及防脱套;所述通孔中设置有螺套或螺纹;所述压块与防脱套形成密闭腔体;所述球头螺杆包括球头以及与球头相连的螺杆;所述球头设置在压块与防脱套形成密闭腔体中;所述螺杆旋入螺套或螺纹并通过球头挤压密闭腔体使密闭腔体止靠在待夹持大口径衍射光栅上。
上述压块以及防脱套均由聚四氟乙烯材料构成的。
上述挤压装置还包括设置在球头螺杆上并远离球头一端的旋钮;所述旋钮通过螺杆旋入螺套或螺纹中。
上述挤压装置还包括设置旋钮上的紧定螺钉。
上述大口径衍射光栅的夹持装置还包括设置在镜框上的定中心装置;所述定中心装置至少包括一对定中心调节装置;所述定中心调节装置包括对称设置在镜框上的用于顶紧待夹持大口径衍射光栅的调节螺旋以及用于顶紧待夹持大口径衍射光栅并测量待夹持大口径衍射光栅与镜框之间间隙的螺旋测微组。
上述定中心调节装置是两对;所述两对调节螺旋以及两对螺旋测微组依次设置在镜框的四个边框上。
一种基于如上所述的大口径衍射光栅的夹持装置的夹持方法,其特殊之处在于:所述夹持方法包括以下步骤:
1)将待夹持大口径衍射光栅放入镜框内,并使待夹持大口径衍射光栅紧贴主定位板;
2)旋转镜框上的调节螺旋使待夹持大口径衍射光栅紧靠框的一侧,旋转与调节螺旋相对一侧的螺旋测微组,使螺旋测微组的端部止靠在待夹持大口径衍射光栅上,记下此时螺旋测微组中螺旋测微头的读数;
3)松开调节螺旋,旋转与调节螺旋相对一侧的螺旋测微组推动待夹持大口径衍射光栅紧靠镜框靠近调节螺旋的一侧,记下此时螺旋测微头的读数;
4)将步骤3)中所获取的读数与步骤2)中所获取的读数相减,得到待夹持大口径衍射光栅与镜框在水平方向上的间隙值,然后调节螺旋测微头,使待夹持大口径衍射光栅与镜框左右两侧间隙值相等,即待夹持大口径衍射光栅处在水平方向的中心位置;
5)采用与步骤1)-步骤4)相同的方式使待夹持大口径衍射光栅处在竖直方向的中心位置;
6)待待夹持大口径衍射光栅同时处在水平方向的中心位置以及竖直方向的中心位置后,旋转压紧臂入镜框,拧紧旋钮使压块轻轻压住待夹持大口径衍射光栅的四个对角。
本发明的优点是:
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