[发明专利]具有背保护层的不锈钢箔太阳能电池及其制备方法

权利要求书

1.具有背保护层的不锈钢箔太阳能电池，包括不锈钢箔基底和在不锈钢箔基底上依次形成的扩散阻挡层、第一电极层、吸收层、缓冲层、第二电极层、减反层和表面电极层，其特征在于：

所述不锈钢箔基底的太阳能接收侧的相对侧形成有背保护层，所述背保护层为单层，所述背保护层任选由以下组制成：

a组：铝、钼、钛、镍、铜、锆、铌、铬、钌、铑、钯、钽、钨、铱、锇、铂、金或银，或它们的合金；或

b组：硅的氮化物、氧化物或碳化物；或

c组：氮化钛、氮化钽、氮化钨或氮化锆；

所述背保护层厚度为10nm～3000nm；

所述扩散阻挡层为三层或三层以上结构，所述扩散阻挡层的每一层任选由以下组制成：

A组：铝、钼、钛、镍、铜、锆、铌、铬、钌、铑、钯、钽、钨、铱、锇、铂、金或银，或它们的合金；或

B组：硅的氮化物、氧化物或碳化物；或

C组：氮化钛、氮化钽、氮化钨或氮化锆；

所述扩散阻挡层的厚度为10nm～3000nm。

2.根据权利要求1所述的具有背保护层的不锈钢箔太阳能电池，其特征在于，所述第一电极层为钼薄膜层。

3.根据权利要求1所述的具有背保护层的不锈钢箔太阳能电池，其特征在于，所述背保护层由氮化硅、氧化硅、碳化硅、氮化钛、氮化钽、氮化钨或氮化锆制成。

4.根据权利要求1～3任一项所述的具有背保护层的不锈钢箔太阳能电池，其特征在于，所述扩散阻挡层为三层结构，包括靠近基底层、中间层和靠近第一电极层。

5.根据权利要求4所述的具有背保护层的不锈钢箔太阳能电池，其特征在于，所述扩散阻挡层的中间层由氮化钛、氮化钽、氮化钨或氮化锆的任一种制成。

6.根据权利要求4所述的具有背保护层的不锈钢箔太阳能电池，其特征在于，所述扩散阻挡层的靠近基底层由钛、铬、氮化钛或氮化钽制成。

7.根据权利要求4所述的具有背保护层的不锈钢箔太阳能电池，其特征在于，所述扩散阻挡层的靠近第一电极层由钛、铬或氮化钛制成。

8.根据权利要求4所述的具有背保护层的不锈钢箔太阳能电池，其特征在于，所述背保护层由氮化钛制成，所述背保护层厚度为200nm；所述靠近基底层由铬制成，所述中间层由氮化钛制成，所述靠近第一电极层由钛制成，所述扩散阻挡层的厚度为1200nm。

9.权利要求1～8任一项所述的具有背保护层的不锈钢箔太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

(1)不锈钢箔基底进行表面除油处理及表面抛光处理，使所述不锈钢箔基底表面粗糙度达到1nm～2000nm；

(2)在不锈钢箔基底的太阳能接收侧的相对侧制备背保护层，所述制备方法选自蒸镀法、磁控溅射法、化学气相沉积法、电化学沉积法或化学沉积法的任一种；

(3)在不锈钢箔基底的太阳能接收侧制备扩散阻挡层，所述制备方法选自化学镀膜法、电化学镀膜法、化学气相沉积法、蒸镀法或磁控溅射法的任一种；

(4)在扩散阻挡层上依次制备第一电极层、吸收层、缓冲层、第二电极层、减反层和表面电极层。