[发明专利]可测压比的嵌入式分子泵

权利要求书

1.一种可测压比的嵌入式分子泵，包括壳体（1），在壳体（1）内安装有转子（2），在壳体（1）的顶部设置有端面法兰（3），其特征在于：在壳体（1）和转子（2）之间设置有第一级分子泵（4），第一级分子泵（4）顶部过盈连接盘状第三级分子泵（6），在第三级分子泵（6）的装配槽（23）中过盈连接第二级分子泵（5），端面法兰（3）和第三级分子泵（6）螺钉连接，在壳体（1）的下部外侧设置有入口测压装置（7），在端面法兰（3）的顶端分别连接有第一级分子泵出口测压装置（8）、第二级出口测压装置（9）和第三级出口测压装置（10）。

2.根据权利要求1所述的可测压比的嵌入式分子泵，其特征在于：在所述的端面法兰（3）上沿圆周形成均布的第一级测压连接孔（11）、第二级测压连接孔（12）和第三级测压连接孔（13），在上述连接孔的两侧形成螺孔（14）。

3.根据权利要求1所述的可测压比的嵌入式分子泵，其特征在于：所述的第一级分子泵（4）为圆筒形，在圆形内壁形成螺旋导气槽，且呈右旋状态，螺旋导气槽截面呈“U”型槽（33），在第一级分子泵（4）的顶端一侧形成异径孔状的第一级引压孔（15）。

4.根据权利要求1所述的可测压比的嵌入式分子泵，其特征在于：所述的第二级分子泵（5）为圆盘形，在其下端面形成多个沿圆周均布的槽壁（16）和抽气槽（17）、并相间分布，在其圆周的外侧形成三个均布的第二级外圆豁口（18），在其圆周的内侧形成第二级内圆豁口（19）。

5.根据权利要求1所述的可测压比的嵌入式分子泵，其特征在于：所述的第三级分子泵（6）为厚壁圆筒形，在其下部形成圆环形的装配槽（23），在其中间形成中心通孔（24），在中心通孔（24）的内壁形成螺旋导气槽，且呈右旋状态，螺旋导气槽截面呈“U”型槽（33），其下端面形成多个沿圆周均布的槽壁（16）和抽气槽（17）、并相间分布，在装配槽（23）内沿圆周形成均布的三个通孔（27）。

6.根据权利要求1所述的可测压比的嵌入式分子泵，其特征在于：第二级分子泵（5）上的槽壁（16）和第三级分子泵（6）上的槽壁（16）呈连续的放射状弧线、并互相对齐；第二级分子泵（5）上的抽气槽（17）和第三级分子泵（6）上的抽气槽（17）的槽型均为变宽度的矩形槽（34）、呈连续的放射状弧线、并互相对齐。

7.根据权利要求1所述的任意一种可测压比的嵌入式分子泵，其特征在于：所述的第一级分子泵出口测压装置（8）、第二级出口测压装置（9）和第三级出口测压装置（10）结构相同，均由固定法兰（42）、连接管（44）和真空计底座（45）组成。