[发明专利]一种衍射光栅输入输出的表面等离子共振传感器在审
| 申请号： | 201410239945.9 | 申请日： | 2014-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN104020139A | 公开（公告）日： | 2014-09-03 |
| 发明（设计）人： | 李志全;朱君;赵玲玲;严蕾;孟晓云;牛力勇 | 申请（专利权）人： | 燕山大学 |
| 主分类号： | G01N21/55 | 分类号： | G01N21/55 |
| 代理公司： | 石家庄一诚知识产权事务所 13116 | 代理人： | 李合印 |
| 地址： | 066004 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 衍射 光栅 输入输出 表面 等离子 共振 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种衍射光栅输入输出的表面等离子共振传感器，包括衍射光栅与金属三角纳米粒子形成的波导结构，其特征是：所述衍射光栅是通过在Pyrex玻璃板的一个板面上制作聚甲基丙烯酸甲酯的抗蚀层，在没有抗蚀层的玻璃板板面上蚀刻出的单维衍射光栅，所述波导结构是由排列在衍射光栅抗蚀层上的金属三角纳米粒子构成；金属三角纳米粒子的形成首先是通过在抗蚀层上利用尺寸分散的聚丙乙烯纳米球进行自组装形成淀积掩膜，然后金属通过高温或电子束蒸发的方法溅射到纳米球层中，再通过清洗移除聚丙乙烯纳米球后，残留的金属即形成排列好的三角纳米粒子。
2.根据权利要求1所述的衍射光栅输入输出的表面等离子共振传感器，其特征是：所述Pyrex玻璃板的厚度为1mm。
3.根据权利要求1所述的衍射光栅输入输出的表面等离子共振传感器，其特征是：所述衍射光栅是采用氟离子基实现蚀刻处理、蚀刻深度为35nm的亚波长光栅。
4.根据权利要求1所述的衍射光栅输入输出的表面等离子共振传感器，其特征是：所述传感器是利用衍射光栅实现生物信号的输入输出。
5.根据权利要求1所述的衍射光栅输入输出的表面等离子共振传感器，其特征是：所述传感器输入输出的生物信号波长为35nm的亚波长。
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