[发明专利]顶部发光OLED显示器薄膜密封工艺

权利要求书

1.顶部发光OLED显示器密封结构，覆盖于OLED显示器半透明阴极（1）上，其特征在于由多层膜结构组成，从下往上依次为C60薄膜（2）、金属氧化物薄膜(3)和高分子薄膜(4)；其后金属氧化物薄膜(3)和高分子薄膜(4)2-3个周期交替排列。

2.如权力要求1所述的顶部发光OLED显示器密封结构，其特征在于所述的高分子薄膜(4)选用派瑞林材料。

3.如权力要求1或2所述的顶部发光OLED显示器密封结构，其特征在于所述的金属氧化物薄膜（3）选用氧化锆。

4.顶部发光OLED显示器密封结构，其制备方法如下：

A．预密封：采用热蒸发方法制备一层C60薄膜（2），厚度为20nm-40nm；

制备金属氧化物薄膜（3）：采用原子层沉积技术制备一层金属氧化物薄膜（3），厚度为100nm-400nm；

制备高分子薄膜（4）：采用热蒸发方法制备一层高分子薄膜（4），厚度为50nm-400nm。

5.重复B-C步骤，交替制备金属氧化物薄膜3和高分子薄膜（4）2-3周期。